[发明专利]石英以及增加石英抗激光损伤性能的方法

权利要求书

1.一种增加石英抗激光损伤性能的方法，其特征在于，包括以下步骤：

对石英基片进行刻蚀处理后在所述石英基片上沉积二氧化硅；在沉积所述二氧化硅的同时，对沉积的所述二氧化硅进行熔融；在所述石英基片上沉积所述二氧化硅是将保护气体和四氯化硅的混合气体与氧气反应后得到的二氧化硅沉积到刻蚀后的所述石英基片的表面；熔融是利用高频等离子焰对沉积的所述二氧化硅进行熔烧而后在所述石英基片表面形成玻璃涂层。

2.根据权利要求1所述的增加石英抗激光损伤性能的方法，其特征在于，刻蚀是在超声条件下用酸溶液中对所述石英基片刻蚀0.5-3小时。

3.根据权利要求2所述的增加石英抗激光损伤性能的方法，其特征在于，所述酸溶液为氢氟酸。

4.根据权利要求2所述的增加石英抗激光损伤性能的方法，其特征在于，所 述酸溶液为氢氟酸缓冲液。

5.根据权利要求4所述的增加石英抗激光损伤性能的方法，其特征在于，所述氢氟酸缓冲液是氢氟酸、氟化盐和水按照体积比为1:4:8-15的比例混合后制备得到。

6.根据权利要求5所述的增加石英抗激光损伤性能的方法，其特征在于，所述氟化盐为氟化铵。

7.根据权利要求2所述的增加石英抗激光损伤性能的方法，其特征在于，刻蚀所述石英基片之前对所述石英基片进行预处理。

8.根据权利要求7所述的增加石英抗激光损伤性能的方法，其特征在于，预处理是将所述石英基片依次使用碱液、超纯水和酸液进行清洗。

9.根据权利要求8所述的增加石英抗激光损伤性能的方法，其特征在于，碱液清洗是使用碱液对所述石英基片超声清洗0.5-2小时，

超纯水清洗是使用超纯水对碱液清洗后的所述石英基片超声清洗0.5-1小时，

酸液清洗是使用酸液对超纯水清洗后的所述石英基片超声清洗0.5-2小时。

10.根据权利要求9所述的增加石英抗激光损伤性能的方法，其特征在于，所述碱液为碱性表面活性剂，所述酸液为无机酸和氧化剂的混合液。

11.根据权利要求10所述的增加石英抗激光损伤性能的方法，其特征在于，所述碱液为弱碱性表面活性剂；

所述无机酸为强酸，所述氧化剂为双氧水。

12.根据权利要求11所述的增加石英抗激光损伤性能的方法，其特征在于，所述无机酸为硝酸；

所述混合液为所述硝酸和所述双氧水按照体积比为1.5-2.5:1的比例混合得到的液体。

13.根据权利要求1所述的增加石英抗激光损伤性能的方法，其特征在于，刻蚀完成后使用超纯水漂洗所述石英基片0.5-1小时后晾干。

14.根据权利要求1所述的增加石英抗激光损伤性能的方法，其特征在于，所述混合气体是将所述保护气体与所述四氯化硅按照体积比为3-6:1的比例混合。

15.一种石英，其特征在于，其通过权利要求1所述的增加石英抗激光损伤性能的方法制备得到。