[发明专利]无机薄膜压电二极管及制作方法在审
| 申请号： | 201810329502.7 | 申请日： | 2018-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN108447978A | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 王东兴;苑丹妮;杨美中;张志文 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/47;H01L41/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 无机薄膜 压电材料 二极管 压电 导电沟道 薄膜层 衬底 二极管传感器 肖特基接触 压电传感器 工作电流 欧姆接触 石英玻璃 压电敏感 压力测定 层厚度 钙钛矿 钛铁矿 沉积 测量 玻璃 制作 应用 制造 吸引 研究 | ||
【权利要求书】：
1.一种无机薄膜压电二极管，其组成包括：石英玻璃衬底，所述的石英玻璃衬底上连接AL薄膜层，所述的Al薄膜层上连接导电沟道ZnO薄膜层，两者之间形成非整流的欧姆接触，所述的ZnO薄膜层上连接Ag薄膜层，两者之间形成肖特基接触，所述的Al薄膜层厚度为20nm，所述的导电沟道ZnO薄膜层厚度为120nm,所述的Ag薄膜层厚度为50nm。
2.根据权利要求1所述的无机薄膜压电二极管传感器在一定压力的测定方面的应用，其特征是：利用无机薄膜的压电特性，使用代表性无机材料氧化锌，氧化锌薄膜受到压力，导带发生倾斜，导致氧化锌薄膜的导电率发生变化，从而使肖特基薄膜氧化锌二极管的正向整流电流增加，当压力去掉时，氧化锌薄膜导带又恢复到原来的状态，通过测量氧化锌压电二极管工作电流的变化，实现一定的压力的测量。
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