[发明专利]软磁性粉末、圧粉磁芯、磁性元件以及电子设备

说明书

本发明提供一种软磁性粉末、圧粉磁芯、磁性元件以及电子设备，其具有由Fe_{100‑a‑b‑c‑d‑e‑f}Cu_aSi_bB_cM_dM’_eX_f(原子％)表示的组成，其中，M是选自于由Nb等组成的组中的至少一种元素，M’是选自于由V等组成的组中的至少一种元素，X是选自于由C等组成的组中的至少一种元素，a、b、c、d、e和f是满足0.1≤a≤3、0＜b≤30、0＜c≤25、5≤b+c≤30、0.1≤d≤30、0≤e≤10以及0≤f≤10的数，以40体积％以上含有粒径1nm以上30nm以下的结晶组织，当设表观密度为100时，振实密度为103以上130以下。

技术领域

本发明涉及软磁性粉末、圧粉磁芯、磁性元件以及电子设备。

背景技术

近年来，笔记本型电脑等移动设备的小型化、轻量化正在推进，为兼顾小型化和高性能化，需要提高开关电源的高频化。目前，开关电源的驱动频率已经增加到几百kHz以上，但与此同时，对于内置在移动设备中的扼流线圈和电感器等磁性元件，需要使其应对高频化。

例如，专利文献1中公开了一种压粉磁芯，含有由Fe_{(100-X-Y-Z-α-β)}B_XSi_YCu_ZM_αM’_β(原子％)(其中，M是选自于由Nb、W、Ta、Zr、Hf、Ti和Mo组成的组中的至少一种元素，M’是选自于由V、Cr、Mn、Al、铂族元素、Sc、Y、Au、Zn、Sn、Re和Ag组成的组中的至少一种元素，X、Y、Z、α和β分别满足12≤X≤15、0<Y≤15、0.1≤Z≤3、0.1≤α≤30、0≤β≤10。)表示的组成、并且其组织中的至少50％以上是具有晶体粒径为100nm以下的纳米结晶组织的纳米结晶磁性粉末或能够通过热处理表达所述纳米结晶组织的组成的非晶质磁性粉末中任一种磁性粉末。

在具有这种纳米结晶组织的磁性粉末中，可以通过优异的软磁特性来应对高频化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利申请公开第2004-349585号公报。

发明内容

但是，在专利文献1所记载的压粉磁芯中，磁性粉末的磁导率稍低。因此，在制成压粉磁芯等压粉体时，存在改善磁特性的课题。

本发明的目的在于提供一种能够制造高磁导率的压粉体的软磁性粉末、具有良好的磁特性的压粉磁芯和磁性元件、以及具有该磁性元件的高可靠性的电子设备。

上述目的通过下述的本发明实现。

本发明的软磁性粉末的特征在于，具有由Fe_{100-a-b-c-d-e-f}Cu_aSi_bB_cM_dM’_eX_f(原子％)(其中，M是选自于由Nb、W、Ta、Zr、Hf和Mo组成的组中的至少一种元素，M’是选自于由V、Cr、Mn、铂族元素、Sc、Y、Au、Zn、Sn和Re组成的组中的至少一种元素，X是选自于由C、P、Ge、Ga、Sb、In、Be和As组成的组中的至少一种元素，a、b、c、d、e和f是满足0.1≤a≤3、0＜b≤30、0＜c≤25、5≤b+c≤30、0.1≤d≤30、0≤e≤10、以及0≤f≤10的数)表示的组成，以40体积％以上含有粒径1nm以上30nm以下的结晶组织，当设表观密度为100时，振实密度为103以上130以下。

由此，能够得到磁导率高的软磁性粉末，因此，通过使用这样的软磁性粉末，能够制造例如实现提高磁性能的压粉体。