[发明专利]一种遮光板及其制备方法和应用有效
申请号: | 201810299890.9 | 申请日: | 2018-04-04 |
公开(公告)号: | CN108535968B | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
发明(设计)人: | 袁夏梁 | 申请(专利权)人: | TCL华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 遮光板 及其 制备 方法 应用 | ||
本发明提供了一种遮光板,包括相对设置的阳极透明基板和阴极透明基板,以及位于两者之间的透明电解质层和电致变色层,所述电致变色层包括阳极电致变色层和/或阴极电致变色层,所述阳极电致变色层位于所述阳极透明基板和所述透明电解质层之间,所述阴极电致变色层位于所述阴极透明基板和所述透明电解质层之间。本发明的遮光板设有阳极电致变色层和/或阴极电致变色层,通过电场改变遮光板的颜色控制紫外光的透过率,并且保证同一曝光范围内的紫外光透过率一致,实现精确曝光,提高产品的品质以及曝光工艺稳定性。同时,相比传统机械式遮光板,避免了开合时间,响应时间短。本发明还提供了该遮光板的制备方法和应用。
技术领域
本发明涉及液晶显示面板制备领域,特别是涉及一种遮光板及其制备方法和应用。
背景技术
在液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)的制备过程中,曝光机是制备精细画质图案的关键设备,现行接近式曝光机在使用过程中(如图1所示),紫外光通过集光镜110射向第一反射镜121,再透过蝇眼140将光线均匀、平行化,射向第二反射镜122和第三反射镜123,透过光罩对基板进行曝光,形成图案。其中,蝇眼140和第一反射镜121之间有一机械式遮光板131用于控制紫外光的通过与否,机械式遮光板131的开合需要通过马达进行控制,一次开合所需时间大约在0.5s到1s之间,这样会使同一个曝光范围内受到的紫外光照射能量不均一,影响产品线宽在面内的均一性,从而影响产品品质。因此,需要一种制备工艺简单且能保证紫外光照射能量均一性、提高产品良率的遮光板。
发明内容
有鉴于此,本发明提供了一种遮光板,通过设置阳极电致变色层和/或阴极电致变色层,使得同一曝光范围内的紫外光透过率相同,实现精确曝光,保证了产品线宽在面内的均一性,提高产品品质。
第一方面,本发明提供了一种遮光板,包括相对设置的阳极透明基板和阴极透明基板,以及位于所述阳极透明基板与所述阴极透明基板之间的透明电解质层和电致变色层,所述阳极透明基板朝向所述阴极透明基板的一侧设置有阳极透明导电层,所述阴极透明基板朝向所述阳极透明基板的一侧设置有阴极透明导电层,所述透明电解质层位于所述阳极透明导电层和所述阴极透明导电层之间,所述电致变色层包括阳极电致变色层和/或阴极电致变色层,所述阳极电致变色层位于所述阳极透明导电层和所述透明电解质层之间,所述阴极电致变色层位于所述阴极透明导电层和所述透明电解质层之间。
在本发明中,所述遮光板用于曝光机中。所述遮光板可以仅存在阳极电致变色层或仅存在阴极电致变色层,也可以同时存在阳极电致变色层和阴极电致变色层。
可选的,所述阳极电致变色层的材质包括可通过先氧化后还原的方式实现无色与有色之间可逆变色的化合物,所述阴极电致变色层的材质包括可通过先还原后氧化的方式实现无色与有色之间可逆变色的化合物。也就是说,所述阳极电致变色层的材质包括通过先氧化后还原的方式实现无色到有色之间可逆变色的化合物,或包括通过先氧化后还原的方式实现有色到无色之间可逆变色的化合物。所述阴极电致变色层的材质包括通过先还原后氧化的方式实现无色到有色可逆变色的化合物,或包括通过先还原后氧化的方式实现有色到无色之间可逆变色的化合物。
可选的,当所述电致变色层包括阳极电致变色层和阴极电致变色层时,所述阳极电致变色层和阴极电致变色层的材质包括可通过氧化还原反应同时从无色变为有色或同时从有色变为无色的化合物。
可选的,所述阳极电致变色层和所述阴极电致变色层的材质分别选自过渡金属化合物、聚噻吩类及其衍生物、聚苯胺类及其衍生物和紫罗精类化合物中的至少一种。具体的,所述阳极电致变色层的材质可以但不限于氢氧化铱、普鲁士白、钨青铜,所述阴极电致变色层的材质可以但不限于三氧化钨、二氧化铱、氧化钼、氧化钛。
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