[发明专利]用于多腔传输装置的开盖机构

说明书

本发明提供一种用于多腔传输装置的开盖机构，包括切换组件、驱动组件、多组传动组件和多组开盖执行组件，每组传动组件对应连接有一组开盖执行组件；切换组件用于将驱动组件选择性地与其中一组传动组件相连；驱动组件用于驱动传动组件以带动开盖执行组件摆动。开盖机构可以节约多腔传输装置的安装空间、降低了设备成本和人力成本，大幅地提升开盖机构的工作效率。

技术领域

本发明涉及半导体加工设备领域，具体涉及一种用于多腔传输装置的开盖机构。

背景技术

众所周知的是，基片传输平台是半导体加工设备中的重要组成部分。具体地，在加工芯片的过程中，基片传输平台用于在不同工艺腔室之间快速、高效、可靠地传输基片，使得整台半导体设备具有较高度的自动化程度和较高的可靠性。

其中，双腔室传输平台以其可挂载工艺腔室数量多、集成度高等性能等优点得到了广泛的应用。图1所示为一种包括可挂载八个工艺腔室的双腔传输平台的半导体加工设备，该半导体加工设备包括双腔传输平台101、基片装载装置102、两个机械手(图中未示出)和八个真空工艺腔103。

对于图1所示的半导体加工设备，每隔一段时间传输腔需要开盖维护，但是现有技术中，一个开盖机构只能控制一个传输腔的盖板的开闭，如果想要控制两个传输腔盖板开闭就需要两套开盖机构，由于结构上的限制，两套开盖机构布置到所述双腔传输平台的两侧，操作人员对其中一侧的开盖机构操作后，需要转到整个传输平台的另一侧才能对另一侧的开盖机构进行操作，这不仅增加了设备成本和人力成本而且降低工作效率，此外在双腔传输装置上安装两个开盖机构会占用很大的安装空间。

因此，如何优化开盖机构的结构以节约多腔传输装置的安装空间、降低设备成本和人力成本，并提升开盖机构工作效率成为亟待解决的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于多腔传输装置的开盖机构。所述开盖机构可以节约多腔传输装置的安装空间、降低了设备成本和人力成本，而且还大幅地提升了开盖机构的工作效率。

为实现上述目的，本发明提供了一种用于多腔传输装置的开盖机构，包括切换组件、驱动组件、多组传动组件和多组开盖执行组件，其中，

每组所述传动组件对应连接有一组所述开盖执行组件；

所述切换组件用于将所述驱动组件选择性地与其中一组所述传动组件相连；

所述驱动组件用于驱动所述传动组件以带动所述开盖执行组件摆动。

可选地，所述驱动组件包括第一转轴和套设在所述第一转轴上的主动齿轮；

每组所述传动组件均包括第一从动齿轮，所述第一从动齿轮能与所述主动齿轮啮合；

所述切换组件包括切换杆，所述切换杆与所述第一转轴连接，通过调节所述切换杆的位置能使所述主动齿轮选择性地与其中一个所述第一从动齿轮啮合。

可选地，所述切换组件还包括承载件、支撑座和连接件，其中，所述承载件用于为所述切换杆提供支撑，所述支撑座固定在所述承载件上，所述切换杆与所述支撑座铰接且所述切换杆的端部通过所述连接件与所述第一转轴连接。

可选地，沿所述主动齿轮的轴线方向，多个所述第一从动齿轮错开设置。

可选地，所述切换杆在连接所述第一转轴的一端开设导向槽；

所述连接件包括与所述第一转轴连接的柱状本体和沿所述柱状本体外表面凸出的滑动销；

所述切换杆的自由端绕所述支撑座摆动时，所述滑动销能在所述导向槽中滑动且能带动所述第一转轴上升或下降。

可选地，所述柱状本体包括可拆卸连接的第一本体部和第二本体部，所述第一本体部和所述第二本体部在朝向所述第一转轴的内表面上均开设限位槽，两个所述限位槽能形成限位腔；