[发明专利]一种柔性氧化铟锡透明导电薄膜卷对卷湿法刻蚀及图案化的方法

权利要求书

1.一种柔性氧化铟锡透明导电薄膜卷对卷湿法刻蚀及图案化的方法，其特征如下，基于配制的保护层溶液，应用卷对卷印刷技术在柔性氧化铟锡基底上制备出厚度可控且均匀的图案化保护层薄膜，再卷对卷通过氧化铟锡刻蚀液，刻蚀并清洗没有印刷保护层薄膜的氧化铟锡，最后卷对卷清洗除去保护层薄膜，完成柔性氧化铟锡透明导电薄膜卷对卷湿法刻蚀与图案化，刻蚀和图案化之后的柔性氧化铟锡薄膜的方块电阻和透光率与刻蚀前基本相同，方块电阻在5欧姆/口到50欧姆/口之间，透光率在80％到95％之间。

2.如权利要求1所述一种柔性氧化铟锡透明导电薄膜卷对卷湿法刻蚀及图案化的方法，其特征在于，所述湿法刻蚀及图案化是指将印刷有保护层薄膜的柔性氧化铟锡基底分别经氧化铟锡刻蚀液刻蚀、去离子水清洗、溶剂清洗保护层、去离子水清洗的过程。

3.如权利要求1所述一种柔性氧化铟锡透明导电薄膜卷对卷湿法刻蚀及图案化的方法，其特征在于，所述保护层为光刻胶或聚乙烯醇或聚甲基丙烯酸甲酯中的一种或几种，保护层溶液的溶剂为丙酮或乙酸乙酯或N，N-二甲基甲酰胺或苯酚或苯甲醚中的一种或几种，浓度在10mg/ml到100mg/ml之间，保护层薄膜厚度为50纳米到5个微米之间。

4.如权利要求1所述一种柔性氧化铟锡透明导电薄膜卷对卷湿法刻蚀及图案化的方法，其特征在于，所述卷对卷印刷技术是指卷对卷凹版印刷或卷对卷微凹版印刷或卷对卷狭缝涂布技术以0.10米/分钟到100米/分钟速度印刷制备保护层，干燥温度在40度到120度之间。

5.如权利要求1所述一种柔性氧化铟锡透明导电薄膜卷对卷湿法刻蚀及图案化的方法，其特征在于，所述柔性氧化铟锡基底是指厚度为30纳米到300纳米的氧化铟锡薄膜沉积在柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)或聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)或聚酰亚胺(PI)基底上。

6.如权利要求1所述一种柔性氧化铟锡透明导电薄膜卷对卷湿法刻蚀及图案化的方法，其特征在于，所述氧化铟锡刻蚀液是指盐酸溶液或硝酸溶液中的一种或两种混合溶液，浓度为5％到15％之间，刻蚀时间在100秒到300秒之间。