[发明专利]柔性面板的分离方法有效
申请号: | 201810201218.1 | 申请日: | 2018-03-12 |
公开(公告)号: | CN108539050B | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
发明(设计)人: | 陶强 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 钟子敏 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 面板 分离 方法 | ||
1.一种柔性面板的分离方法,所述柔性面板与第一基板粘合,其特征在于,所述方法包括:
通过振动发声器产生声波将所述第一基板和所述柔性面板分离,所述振动发声器产生的声波频率小于所述第一基板的固有频率;
其中,在所述通过振动发声器产生声波将第一基板和柔性面板分离之前还包括:
在所述第一基板远离所述柔性面板的一侧及/或所述柔性面板远离所述第一基板的一侧设置吸附装置,以将所述第一基板及所述柔性面板吸附或将所述第一基板与所述柔性基板中的一个吸附。
2.根据权利要求1所述的柔性面板的分离方法,其特征在于,所述柔性面板包括:
与所述第一基板粘合的第二基板;
设置在所述第二基板远离所述第一基板的表面上的开关元件;
覆盖所述开关元件的发光层;及
覆盖所述发光层的封装层。
3.根据权利要求2所述的柔性面板的分离方法,其特征在于,所述振动发声器至少设置一个,且设置在所述第一基板与所述第二基板粘合处附近。
4.根据权利要求2所述的柔性面板的分离方法,其特征在于,所述振动发声器至少设置两个,且对称设置在所述第一基板与所述第二基板粘合处两侧。
5.根据权利要求1所述的柔性面板的分离方法,其特征在于,所述振动发声器产生的声波频率为10000Hz~15000Hz。
6.根据权利要求1所述的柔性面板的分离方法,其特征在于,所述吸附装置为真空吸附平台。
7.根据权利要求1所述的柔性面板的分离方法,其特征在于,在通过振动发声器产生声波将第一基板和柔性面板分离之后还包括:
通过所述吸附装置将所述第一基板及所述柔性面板移动分开。
8.根据权利要求1所述的柔性面板的分离方法,其特征在于,在通过振动发声器产生声波将第一基板和柔性面板分离之前还包括:
通过高能激光束扫描所述柔性面板或所述第一基板,以使所述第一基板与所述柔性面板之间的粘合力降低。
9.根据权利要求2所述的柔性面板的分离方法,其特征在于,所述第一基板为玻璃基板,所述第二基板为聚酰亚胺柔性基板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
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