[发明专利]压力传感器

权利要求书

1.一种压力传感器，其特征在于，具备：

检测设备，其具备受到来自测定对象的压力而进行位移的隔膜，将所述隔膜的位移变换成静电电容的变化；

压力值输出部，其构成为将由所述隔膜的位移引起的所述静电电容的变化变换成压力值并输出；

内侧容器，其收容所述检测设备；

外侧容器，其收容所述内侧容器；

压力导入管，其连接到所述内侧容器，用于将测定对象的压力导入到所述内侧容器的内部；

隔壁，其设置于所述内侧容器的内部，将所述内侧容器的内部空间分离成所述测定对象的压力经由所述压力导入管而被导入的压力检测侧的空间、以及作为与所述压力检测侧的空间相反的一侧的空间的配置有所述检测设备的元件配置侧的空间，并且在所述元件配置侧的面接合有所述检测设备，所述隔壁具有将所述压力检测侧的压力引导到所述检测设备的所述隔膜的压力导入孔；

第1温度测定机构，其设置于所述内侧容器的所述元件配置侧的外侧壁面；

加热机构，其设置于所述外侧容器的外侧壁面，用于对所述外侧容器的内部进行加热；

温度控制部，其构成为控制所述加热机构的动作，使由所述第1温度测定机构测定出的第1温度值接近于设定温度；

第2温度测定机构，其测定所述加热机构的温度；

温度差计算部，其构成为求出所述第1温度测定机构测定出的第1温度值与第2温度测定机构测定出的第2温度值的温度差；以及

警报输出部，其构成为在所述温度差计算部计算出的温度差偏离设定范围的情况下发出警报。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

所述检测设备具有：

基座，其与所述隔膜间隔开地支承所述隔膜；

第1电极，其设置于所述隔膜；以及

第2电极，其设置于所述基座，与所述第1电极相面对，

所述压力值输出部将由所述隔膜的位移引起的所述第1电极与所述第2电极之间的电容变化变换成所述压力值并输出。

3.根据权利要求1或者2所述的压力传感器，其特征在于，

在所述隔膜的与受到来自测定对象的压力的受压部相反的一侧，具备设为真空的电容室。