[发明专利]一种掩膜版

权利要求书

1.一种掩膜版，包括版体，其特征在于，所述版体上具有：

抓持区域；

位于所述抓持区域内侧的圆弧标识区域；

位于所述圆弧标识区域内侧的焊接区域；

位于所述圆弧标识区域内侧的条块标识区域；和

位于所述条块标识区域内侧的有效显示区域；

其中，所述圆弧标识区域和所述条块标识区域内开设有应力平衡槽；

所述条块标识区域包括：块状标识区域，位于所述圆弧标识区域的内侧；和条状标识区域，位于所述块状标识区域的内侧；

所述焊接区域位于所述块状标识区域和所述条状标识区域之间。

2.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述圆弧标识区域的凹曲面朝外。

3.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述块状标识区域包括横置的多个块状标识框，多个所述块状标识框排列成多行，多个所述块状标识框的长度不同，每行的相邻两个所述块状标识框之间的间隔在行方向上错位设置，所述块状标识框内开设所述应力平衡槽。

4.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述条状标识区域包括横置的条状标识框，所述条状标识框内开设所述应力平衡槽。

5.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述圆弧标识区域包括半圆形标示框，所述半圆形标示框内开设所述应力平衡槽。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的掩膜版，其特征在于，所述圆弧标识区域和所述条块标识区域通过仿真分析进行确定。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的掩膜版，其特征在于，所述应力平衡槽为通槽或盲孔槽，且所述应力平衡槽呈六边形状、正方形状、圆形状或栅条形状。

8.根据权利要求1至5中任一项所述的掩膜版，其特征在于，所述条块标识区域的左端与所述版体的左边缘之间的距离、以及所述条块标识区域的右端与所述版体的右边缘之间的距离均不大于1mm。