[发明专利]线状锯及线状锯的工件切断加工方法

说明书

本发明提供如下线状锯及线状锯的工件切断加工方法：能自动地将工件切断时的加工负荷调整为适当水平，且能达成高精度加工。一种线状锯，使线材(101)在多个加工用辊(15、16)之间以环绕状态行走，并且使工件(100)朝向加工用辊(15、16)之间的线材(101)进给，利用该线材(101)切断工件(100)。根据参与所述工件(100)的切断加工的线材(101)的实际工作长度来控制工件进给用电动机(31)的执行转矩，从而调整针对工件(100)的加工负荷。

技术领域

本发明涉及线状锯及线状锯的工件切断加工方法，其用于利用线材对由半导体材料、磁性材料、或者陶瓷等脆性材料构成的工件进行切断加工。

背景技术

线状锯将线材以环绕状态架设在多个加工用辊之间，使该线材行走，并且将工件按压到加工用辊之间的线材，从而对工件进行切断加工。在该线状锯中，当线材磨损、或者工件存在晶体结构不良部分、或者冷却剂内的切削屑的浓度变高时，有可能切断加工中的负荷(以下称为加工负荷)超过允许水平。加工负荷过于高会产生架设于所述加工用辊之间的线材的挠曲程度变大的结果，当变为这样的状态时，会产生工件的加工精度下降、或者切断加工后的加工品的成品率下降的影响。

为了消除这样的问题，而提案有日本特开平10-166255号公报及日本特开2000-218502号公报公开的技术。

在日本特开平10-166255号公报中，即使在线材的长度方向上的工件的切断长度伴随工件的切削加工而变化的情况下，也利用加工负荷检测器检测出加工负荷，以使得加工负荷不变动。并且，基于该检测来调整线材的行走速度及浆料的供给量，将每单位切断长度的加工负荷保持为恒定。因此，可抑制加工精度的提高、机械的热变形。

在日本特开2000-218502号公报中，利用非接触传感器测定线材的移位量、即挠曲量，基于该移位量及线材的初始张力对作为加工负荷的切断负荷进行运算，对运算出的切断负荷和预先输入的基准值进行比较。并且，基于该比较结果来控制工件的进给速度。通过该进给速度的控制，能精度良好地切断工件。

发明内容

发明要解决的课题

在上述的日本特开平10-166255号公报中，因为检测每单位切断长度的加工负荷，所以对参与工件的切断加工的线材整体的负荷没有加以考虑。因此，在工件的切断加工中过大的切断负荷作用于线材整体的情况下，有可能产生如下情况：驱动切断加工的电动机等的控制变得困难。因此，在这样的情况下，有可能不能达成工件的高精度的切断加工。

在上述的日本特开2000-218502号公报中，为了利用非接触的传感器检测出线材的移位而需要传感器，线状锯的结构变得复杂。而且，所述传感器是抽样地检测线材的一部分的位置的移位，因此有可能误检测作用于线材整体的切断负荷。另外，传感器使用非接触类型的传感器，但是这样的非接触类型的传感器由于线材上的加工液量变动、或者加工液附着于传感器，有可能与上述同样发生误检测。因此，在日本特开2000-218502号公报的线状锯中，难以基于线材的移位检测适当地进行线材的进给速度的控制，有可能与上述同样不能达成高精度地切断工件。

本发明的目的是着眼于这样的现有技术中存在的问题而完成的。其目的在于提供如下线状锯及线状锯中的工件切断加工方法：能自动地将工件切断时的加工负荷调整为适当水平，且能达成高精度加工。

用于解决课题的方案