[发明专利]高性能触摸传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种高性能触摸传感器，包括：

基板；

形成在所述基板上的感测电极部；

形成在所述感测电极部上的绝缘层；

形成在所述基板和所述感测电极部之间的第一保护层；和

形成为覆盖所述感测电极部和所述绝缘层的第二保护层，

其中包括所述感测电极部的单位感测单元的间距在50μm至70μm的范围内，

其中所述绝缘层的介电常数在6至10的范围内，

其中所述绝缘层具有1μm至2μm的厚度，

其中所述单位感测单元具有2000μm²至4000μm²的面积，并且在所述单位感测单元中包括的所述感测电极部具有2300μm²至2600μm²的面积，并且

其中所述绝缘层的材料是丙烯酸类树脂。

2.根据权利要求1所述的高性能触摸传感器，其中所述绝缘层具有1.5至2.0的折射率。

3.根据权利要求1所述的高性能触摸传感器，其中所述基板包括软质材料或硬质材料。

4.根据权利要求1所述的高性能触摸传感器，还包括形成在所述基板与所述感测电极部之间的隔离层，并且

其中所述基板包括柔性基板。

5.根据权利要求1所述的高性能触摸传感器，其中所述单位感测单元具有8fF至15fF的互电容。

6.一种制造高性能触摸传感器的方法，所述方法包括：

在载体基板上形成隔离层；

在所述隔离层上形成第一保护层；

在所述第一保护层上形成感测电极部；

在所述感测电极部上形成绝缘层；

形成覆盖所述感测电极部和所述绝缘层的第二保护层；

分离所述载体基板；和

在由于分离所述载体基板而暴露的所述隔离层上接合具有柔性的基膜，

其中包括所述感测电极部的单位感测单元的间距在50μm至70μm的范围内，

其中所述绝缘层的介电常数在6至10的范围内，

其中所述绝缘层具有1μm至2μm的厚度，

其中所述单位感测单元具有2000μm²至4000μm²的面积，并且在所述单位感测单元中包括的所述感测电极部具有2300μm²至2600μm²的面积，并且

其中所述绝缘层的材料是丙烯酸类树脂。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述绝缘层具有1.5至2.0的折射率。

8.根据权利要求6所述的方法，其中所述载体基板包括硬质材料。

9.根据权利要求6所述的方法，其中所述第一保护层被形成为覆盖所述隔离层的侧壁。

10.根据权利要求6所述的方法，其中所述单位感测单元具有8fF至15fF的互电容。