[发明专利]光扫描装置以及光扫描方法

说明书

本发明涉及光扫描装置以及光扫描方法。目的为提高水平扫描方向的相移的补偿精度。使反射镜在第一方向和与上述第一方向正交的第二方向摇动的二维扫描型光扫描装置，具备：差值计算部，其计算使上述反射镜在上述第二方向摇动的第二驱动梁的初始驱动时的弯曲量与使上述第二驱动梁驱动预定时间时的弯曲量之间的差值；以及相移计算部，其根据上述差值，计算用于使上述反射镜在上述第一方向摇动的驱动信号与表示上述反射镜在上述第一方向的位移的信号之间的相移量。

技术领域

本发明涉及光扫描装置以及光扫描方法。

背景技术

目前已知一种光扫描装置，驱动MEMS(Micro Electro Mechanical System微电子机械系统)反射镜(Mirror)，使激光的反射方向依次变化，由此二维扫描激光并投影图像。

另外，目前已知MEMS反射镜进行的水平驱动中，在使用了较高速的共振驱动时，在驱动信号和MEMS反射镜的位移之间产生相位差。在产生了该相位差时，会在被投影的图像中产生与水平扫描方向的相位差对应的偏离。因此，目前谋求能够消除这种水平扫描方向的相移的技术(专利文献1)。

已知即使温度恒定，也会由于在垂直方向驱动MEMS反射镜的垂直梁的弯曲变化而产生水平扫描方向的相移。该弯曲是可逆的，如果停止MEMS反射镜的驱动，则再次返回初始状态。然后由于该弯曲也会产生水平扫描方向的相移。

但是，在专利文献1公开的现有技术中，不考虑垂直梁的弯曲变化造成的相移而提高水平扫描方向的相移的补偿精度是困难的。

专利文献1：日本特开2002-365568号公报

发明内容

本公开的技术是鉴于上述情况而进行的，其目的为提高水平扫描方向的相移的补偿精度。

本公开的技术为使反射镜在第一方向和与上述第一方向正交的第二方向摇动的二维扫描型光扫描装置(1)，该光扫描装置具备：

差值计算部(55)，其计算使上述反射镜(110)在上述第二方向摇动的第二驱动梁(170A、170B)的初始驱动时的弯曲量与使上述第二驱动梁(170A、170B))驱动预定时间时的弯曲量之间的差值；以及

相移计算部(56)，其根据上述差值，计算用于使上述反射镜(110)在上述第一方向摇动的驱动信号与表示上述反射镜(110)的上述第一方向的位移的信号之间的相移量。

另外，上述括号内的参照标记是为了容易理解而标注的，不过是一例，不限于图示的方式。

本公开的技术能够提高水平扫描方向的相移的补偿精度。

附图说明

图1说明第一实施方式的光扫描装置的结构。

图2是说明第一实施方式的光扫描部的图。

图3是说明第一实施方式的补偿电路的功能的图。

图4是表示第一实施方式的第二驱动梁的弯曲量与温度之间的关系的图。

图5是表示第一实施方式的补偿电路的动作的流程图。

图6是说明第一实施方式的相位补偿部的处理的流程图。

图7是说明第二实施方式的补偿电路的功能的图。

图8是说明定时的补偿量与温度之间的关系的图。

图9是说明第二实施方式的补偿电路的动作的流程图。

附图标记的说明