[发明专利]光扫描装置以及光扫描方法有效
申请号: | 201810140785.0 | 申请日: | 2018-02-11 |
公开(公告)号: | CN108427190B | 公开(公告)日: | 2021-11-09 |
发明(设计)人: | 木村佑司 | 申请(专利权)人: | 三美电机株式会社 |
主分类号: | G02B26/10 | 分类号: | G02B26/10;G02B26/08;G09G3/02;G09G3/34 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 范胜杰;王立杰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 扫描 装置 以及 方法 | ||
1.一种光扫描装置,是使反射镜在第一方向和与上述第一方向正交的第二方向摇动的二维扫描型光扫描装置,其特征在于,
该光扫描装置具备:
差值计算部,其计算使上述反射镜在上述第二方向摇动的第二驱动梁的初始驱动时的弯曲量与使上述第二驱动梁驱动预定时间时的弯曲量之间的差值;
相移计算部,其根据由上述差值计算部计算出的上述差值,计算用于使上述反射镜在上述第一方向摇动的驱动信号与表示上述反射镜在上述第一方向的位移的信号之间的相移量;
偏转角传感器,其检测上述反射镜在上述第二方向的偏转角;
温度检测部,其检测温度;以及
系数存储部,其保持表示温度与上述第二驱动梁的初始驱动时的弯曲量之间的关系的第一函数,
该光扫描装置根据上述偏转角传感器的输出信号计算使上述第二驱动梁驱动预定时间时的上述弯曲量,
上述差值计算部根据通过上述温度检测部检测出的温度和上述第一函数来计算检测出的温度的上述差值。
2.根据权利要求1所述的光扫描装置,其特征在于,
上述相移计算部通过将上述差值乘以系数,将上述差值换算为相移量。
3.根据权利要求1所述的光扫描装置,其特征在于,
该光扫描装置具有判定上述第二驱动梁的弯曲状态是否稳定的弯曲状态判定部,
上述系数存储部保持表示上述温度与上述相移量之间的关系的第二函数,
在判定为上述第二驱动梁的弯曲状态稳定时,上述相移计算部根据通过上述温度检测部检测出的温度与上述第二函数来计算上述相移量。
4.一种光扫描装置,是使反射镜在第一方向和与上述第一方向正交的第二方向摇动的二维扫描型光扫描装置,其特征在于,
该光扫描装置具备:
温度检测部,其检测温度;
弯曲状态判定部,其判定使上述反射镜在上述第二方向摇动的第二驱动梁的弯曲状态是否稳定;
系数存储部,其保持表示温度与上述第二驱动梁的初始驱动时的弯曲量之间的关系的函数;以及
相移计算部,其在判定为上述第二驱动梁的弯曲状态为稳定时,根据通过上述温度检测部检测出的温度和上述函数来计算用于使上述反射镜在上述第一方向摇动的驱动信号和表示上述反射镜在上述第一方向的位移的信号之间的相移量。
5.根据权利要求1或4所述的光扫描装置,其特征在于,
该光扫描装置具备:
光源,其照射激光;以及
定时补偿部,其根据上述相移量来决定从表示上述第一方向的位移的信号的零交叉点到照射上述激光的定时为止的期间。
6.一种光扫描方法,是使反射镜在第一方向和与上述第一方向正交的第二方向摇动的二维扫描型光扫描装置的光扫描方法,其特征在于,
该光扫描方法执行如下处理:
计算使上述反射镜在上述第二方向摇动的第二驱动梁的初始驱动时的弯曲量与使上述第二驱动梁驱动预定时间时的弯曲量之间的差值;
根据上述差值,计算用于使上述反射镜在上述第一方向摇动的驱动信号与表示上述反射镜的上述第一方向的位移的信号之间的相移量,
检测上述反射镜在上述第二方向的偏转角;
根据上述第二方向的偏转角计算使上述第二驱动梁驱动预定时间时的上述弯曲量,
根据温度检测部检测出的温度、表示温度与上述第二驱动梁的初始驱动时的弯曲量之间的关系的第一函数来计算检测出的温度的上述差值。
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