[发明专利]一种非接触式坐标测量机

说明书

本发明公开了一种非接触式坐标测量机，解决使用现有非接触坐标测量机测量时需将被测点法线方向对准探头从而导致定位精度降低的问题；在泰曼—格林干涉光路基础上引入球壳透镜成功搭建出干涉式光学探头，测量时，通过调整光学探头聚焦在被测件上某一点，测量光束被球壳透镜内表面反射回到光学系统中，测量光束经分束器反射进入CCD图像传感器上与参考光束形成干涉条纹，由位置计量装置记录此时三维运动机构的位置信息；调整三维运动机构依次记录聚焦透镜的像方焦点聚焦在被测件上其他点的位置信息，通过数据处理可以获得被测件的面形形貌；简化了三维运动机构，减小了机械定位误差，可测量高陡度元件。

技术领域

本发明属于光学检测技术领域，具体涉及一种三维轮廓测量机。

背景技术

三维面形测量最常用的方法是三坐标测量。三坐标测量技术具有通用性强、自动化程度高、测量精度高等众多优点，在机械、电子等领域得到广泛应用。目前，根据三坐标测量机测头的形式，可将三坐标测量机分为接触式三坐标测量机和非接触式三坐标测量机。非接触式三坐标测量机目前主要有激光点测量和线激光扫描测量两种形式。对于接触式三坐标测量机和非接触式激光点测量三坐标测量机而言，测量过程需要频繁的加速、减速，造成了测量速度较慢，此外由于测头直接与被测件表面接触容易划伤被测件。非接触式的线激光扫描测量在测量时加减速过程较少，可以大幅度的提高测量速度，但是由于线激光测量头的自身误差大于3μm，测时需要调整被测点法线方向对准激光测头，三维运动机构复杂，使得其测量精度大幅度下降，因此测定的精度并不高。

发明内容

本发明解决的技术问题是：解决现使用现有非接触式坐标测量机测量时需将被测点法线方向对准探头从而导致定位精度降低的问题。

一种非接触式坐标测量机，包括机架、光学探头、三维运动机构、显示系统和控制系统，所述光学探头设于所述三维运动机构上，所述三维运动机构设于所述机架上，所述机架与所述控制系统相连，所述控制系统与所述显示系统相连接，其中所述的三维运动机构由三个相互垂直平移机构组成，其中一个平移机构竖直方向设置，三维运动机构上设置有位置计量装置，用于记录位置变化量；

其特征在于：所述的光学探头由干涉光路组成，所述干涉光路包括光源、准直透镜、分束器、成像透镜、聚焦透镜、平面反射镜、球壳透镜、CCD图像传感器；以光源所在一侧为物方，所述光源发出的光被准直透镜准直后入射到分束器上，经分束器反射的光作为参考光束，参考光被垂直放置的平面反射镜反射后原路返回，再次通过分束器被成像透镜聚焦于CCD图像传感器上；其中CCD图像传感器与显示系统连接，实时将干涉图像传输至显示系统；

透射过分束器的光作为测量光束，测量光束经过聚焦透镜后聚焦于聚焦透镜的像方焦点处；所述的球壳透镜内表面设置有半透半反膜，且球壳透镜放置在聚焦透镜与聚焦透镜的像方焦点之间，球壳透镜的球心与聚焦透镜的像方焦点重合。

基于上述技术方案，本发明还提供一种非接触式三维面形测量方法，测量时，通过调整三维运动机构使聚焦透镜的像方焦点聚焦在被测件上某一点，测量光束被球壳透镜内表面反射回到光学系统中，测量光束经分束器反射进入CCD图像传感器上与参考光束形成干涉条纹，由位置计量装置记录此时三维运动机构的位置信息；调整三维运动机构依次记录聚焦透镜的像方焦点聚焦在被测件上其他点的位置信息，通过数据处理可以获得被测件的面形形貌。

测量工件时，在三维运动机构的驱动下，光学探头上聚焦透镜的像方焦点轨迹沿着理想光学元件曲线运动，通过竖直方向(Z轴)的平动轴上下扫描，若焦点位置偏离被测点，通过干涉条纹判断聚焦位置与被测点的相对位置，将Z轴向上或向下移动，直至干涉条纹为理想的零级条纹，由位置计量装置记录此测量点的位置信息，依次在被测面上进行面形扫描，然后对点源数据进行面形拟合，通过拟合后的面形与工件面形的比较，分析确定其面形误差。