[发明专利]一种类金刚石镀膜方法在审
| 申请号： | 201810108215.3 | 申请日： | 2018-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN108330443A | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 王三胜 | 申请（专利权）人： | 北京鼎臣世纪超导科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/46 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 姜海荣 |
| 地址： | 100000 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衬底 金刚石镀膜 真空腔 主源 清洗 类金刚石薄膜 离子束清洗 挡板 氩气 镀膜步骤 高附着力 类金刚石 能量参数 石墨靶材 石墨 抽真空 靶材 放入 室内 制造 | ||
【权利要求书】：
1.一种类金刚石镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：
S101、提供待镀底材(1)，将待镀底材(1)清洗后放入真空腔室内；
S102、将真空腔抽真空，然后通入氩气，打开辅源(2)对待镀底材(1)进行离子束清洗；
S103、提供石墨靶材(3)，打开主源(4)对石墨靶材(3)进行离子束清洗；
S104、石墨靶材(3)清洗完成后，调整主源(4)和辅源(2)离子束能量与束流的参数，在待镀底材(1)上镀上一层类金刚石薄膜(5)。
2.根据权利要求1所述的一种类金刚石镀膜方法，其特征在于，所述待镀底材(1)材料至少包括不锈钢、铝材、石英。
3.根据权利要求1所述的一种类金刚石镀膜方法，其特征在于，所述待镀底材(1)的清洗具体包括以下步骤：
a.对待镀底材(1)进行基本清洗；
b.放入丙酮溶液中使用超声波清洗机清洗；
c.放入无水乙醇溶液中超声波清洗。
4.根据权利要求3所述的一种类金刚石镀膜方法，其特征在于，所述待镀底材(1)清洗完成后通过氩气进行吹干，放入双离子束辅助溅射镀膜机真空腔室内，进行抽真空操作。
5.根据权利要求1所述的一种类金刚石镀膜方法，其特征在于，在双离子束辅助溅射镀膜设备中进行镀膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京鼎臣世纪超导科技有限公司，未经北京鼎臣世纪超导科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810108215.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种碳化铬复合镀层及其制备方法
- 下一篇：一种制备硫化锌膜的方法
- 同类专利
- 专利分类
