[发明专利]一种制氧机用氧浓度检测传感器在审
| 申请号： | 201810084966.6 | 申请日： | 2018-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN108318563A | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 李军良;沈杰 | 申请（专利权）人： | 上海艾瓷传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/407 | 分类号： | G01N27/407;G01N27/409 |
| 代理公司： | 上海天翔知识产权代理有限公司 31224 | 代理人： | 刘粉宝 |
| 地址： | 201613 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 透氧层 绝缘层 内电极 外电极 传感器 氧浓度检测 加热器层 扩散障 通道层 下表面 制氧机 空腔 引脚 加热器 内置加热器 被测气体 环境因素 加热电路 空腔相通 对电极 耐腐蚀 耐高温 陶瓷基 氧特性 引线脚 泵氧 内置 相通 检测 外部 | ||
1.一种制氧机用氧浓度检测传感器，其特征在于，所述传感器包括：
一透氧层，透氧层的上表面设有外电极和外电极引脚，透氧层的下表面设有内电极和内电极引脚，外电极和内电极相对形成泵氧对电极；
一设置在透氧层下方的绝缘层；
一设置在绝缘层下方的加热器层，加热器层内置加热器，加热器具有引线脚；
一设置在透氧层和绝缘层之间的空腔，内电极设置在空腔内；
一设置在透氧层和绝缘层之间的扩散障通道层，扩散障通道层的一端与外部被测气氛相通，另一端与空腔相通。
2.根据权利要求1所述的制氧机用氧浓度检测传感器，其特征在于，所述透氧层为固体电解质透氧层，由5-8％mol钇稳定氧化锆制成，其厚度为100-500μm。
3.根据权利要求1所述的制氧机用氧浓度检测传感器，其特征在于，所述绝缘层由致密Al2O3陶瓷材料制成，其厚度为5-500μm。
4.根据权利要求1所述的制氧机用氧浓度检测传感器，其特征在于，所述加热器层由致密Al2O3陶瓷材料制成，其厚度为10-500μm。
5.根据权利要求1所述的制氧机用氧浓度检测传感器，其特征在于，所述外电极与内电极均为多孔Pt电极，其厚度为10-20μm。
6.根据权利要求1所述的制氧机用氧浓度检测传感器，其特征在于，所述加热器为Pt加热电路，其厚度为15-30μm。
7.根据权利要求1所述的制氧机用氧浓度检测传感器，其特征在于，所述扩散障通道层由多孔氧化铝或氧化锆陶瓷材料制成。
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