[发明专利]一种碳化铬复合镀层及其制备方法

权利要求书

1.一种碳化铬复合镀层的制备方法，其特征在于：采用TiAlN作为梯度过渡层将底层的Ni层和外层的CrC层紧密结合；在Ni层表面若干次沉积TiAlN层以形成TiAlN梯度过渡层，在TiAlN梯度过渡层的最外层表面上沉积CrC层，所述TiAlN梯度过渡层从内到外硬度逐渐增大；

在Ni层2-5次沉积TiAlN层以形成2-5层TiAlN梯度过渡层；

沉积TiAlN层采用离子镀沉积，且沉积温度逐层降低；

沉积时的温度范围为50-250℃。

2.如权利要求1所述的一种碳化铬复合镀层的制备方法，其特征在于：在TiAlN梯度过渡层的最外层表面上若干次沉积CrC层以形成CrC梯度层，所述CrC梯度层从内到外硬度逐渐增大。

3.如权利要求2所述的一种碳化铬复合镀层的制备方法，其特征在于：CrC层通过中频磁控溅射形成，溅射时通入乙炔，且沉积时乙炔流量逐层增加，且乙炔流量范围为10-30sccm。

4.一种碳化铬复合镀层，其特征在于：其采用权利要求1中的制备方法制备，其自基体表面从内而外依次包括Ni层、TiAlN梯度过渡层和CrC层，所述TiAlN梯度过渡层从内到外硬度逐渐增大以与Ni层和CrC层均紧密结合。

5.如权利要求4所述的一种碳化铬复合镀层，其特征在于：所述CrC层为多层，且从内到外硬度逐渐增大。

6.如权利要求4或5所述的一种碳化铬复合镀层，其特征在于：所述TiAlN梯度过渡层层数为2-5层。