[发明专利]一种金刚线切割多晶硅太阳电池绒面的制备方法

权利要求书

1.一种金刚线切割多晶硅太阳电池绒面的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）在10~30℃下，将清洗后的金刚线切割多晶硅片浸没于第一腐蚀液中腐蚀3~5min；

所述第一腐蚀液为HF、HNO₃和去离子水的混合液；

（2）在0~5℃下，将步骤（1）中腐蚀后的硅片浸没于第二腐蚀液中腐蚀3~7min；

所述第二腐蚀液为水相、油相和乳化剂的混合液；以体积比计，水相：油相=4~6:1；(水相+油相)：乳化剂=4~6:1；

所述水相为质量浓度为40%的HF、质量浓度为65%的HNO₃和去离子水的混合液，以体积比计，HF：HNO₃=1:1~3，（HF+HNO₃）：去离子水=1~5:1；所述油相为甲苯，所述乳化剂为吐温；

（3）在10~30℃下，将步骤（2）中腐蚀后的硅片浸没于碱溶液中进行刻蚀0.5~5min，清洗、干燥，即得。

2.根据权利要求1所述的金刚线切割多晶硅太阳电池绒面的制备方法，其特征在于，所述第一腐蚀液为质量浓度为40%的HF、质量浓度为65%的HNO₃和去离子水的混合液，以体积比计，HF：HNO₃：去离子水=1~2:1:1~5。

3.根据权利要求2所述的金刚线切割多晶硅太阳电池绒面的制备方法，其特征在于，第一腐蚀液中，以体积比计，HF：HNO₃：去离子水=2:1:2.5~3.5。

4.根据权利要求1所述的金刚线切割多晶硅太阳电池绒面的制备方法，其特征在于，步骤（1）中，所述的清洗为：将金刚线切割多晶硅片放入乙醇中超声清洗后，再投入RCA溶液中进行清洗。

5.根据权利要求1所述的金刚线切割多晶硅太阳电池绒面的制备方法，其特征在于，所述第二腐蚀液中，以体积比计，水相：油相=4:1；(水相+油相)：乳化剂=4~6:1；

所述水相为质量浓度为40%的HF、质量浓度为65%的HNO₃和去离子水的混合液，以体积比计，HF：HNO₃=1:2~3，（HF+HNO₃）：去离子水=2~5:1；

所述油相为甲苯，所述乳化剂为吐温。

6.根据权利要求5所述的金刚线切割多晶硅太阳电池绒面的制备方法，其特征在于，所述第二腐蚀液中，以体积比计，水相：油相=4:1；(水相+油相)：乳化剂=6:1；

所述水相为质量浓度为40%的HF、质量浓度为65%的HNO₃和去离子水的混合液，以体积比计，HF：HNO₃=1:2，（HF+HNO₃）：去离子水=4~5:1；

所述油相为甲苯，所述乳化剂为吐温。

7.根据权利要求1所述的金刚线切割多晶硅太阳电池绒面的制备方法，其特征在于，步骤（2）中，腐蚀时间为3~5min。

8.根据权利要求1所述的金刚线切割多晶硅太阳电池绒面的制备方法，其特征在于，所述的碱溶液为质量百分比浓度为1~3%的氢氧化钠水溶液。