[发明专利]一种电致发光显示面板、掩膜板及制作方法有效
申请号: | 201810065082.6 | 申请日: | 2018-01-23 |
公开(公告)号: | CN108269837B | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 玄明花;王磊;杨盛际;卢鹏程;肖丽;刘冬妮;陈小川 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/52;H01L51/56;C23C14/04 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 郭润湘 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电致发光 显示 面板 掩膜板 制作方法 | ||
本公开的实施例提供一种电致发光显示面板、掩膜板及制作方法,以改善电致发光显示面板的触控电极制作工艺复杂,以及由于倒梯形光刻胶阻隔触控电极所导致的触控性能不稳定的问题。该电致发光显示面板的制作方法,包括:在图案化的掩膜版遮挡下,采用蒸镀工艺在预设发光层的至少一侧形成具有与所述掩膜版的图案相对应图案的电极层,其中,所述预设发光层为用于形成所述电致发光显示面板发光层的膜层。
技术领域
本公开涉及显示技术领域,尤其涉及一种电致发光显示面板、掩膜板及制作方法。
背景技术
现有技术的电致发光显示面板的触控电极通常包括多个块状的触控电极以及与每一触控电极一一对应相连的触控引线,各触控电极之间相互间隔独立,该种触控电极制作时,通常先通过光刻工艺在相邻触控电极之间的间隙处形成倒梯形的光刻胶挡墙,进而再通过蒸镀工艺形成触控电极,由于有倒梯形光刻胶挡墙间隔,进而可以形成相互独立的触控电极。
但该种形成触控电极的工艺对倒梯形的光刻胶挡墙的坡度角有一定的要求,致使形成触控电极的工艺复杂且形成的挡墙的稳定性差,即,现有技术存在电致发光显示面板的触控电极制作工艺复杂以及触控性能不稳定的问题。
发明内容
本公开提供一种电致发光显示面板、掩膜板及制作方法,以至少部分地改善电致发光显示面板的触控电极制作工艺复杂,以及由于倒梯形光刻胶阻隔触控电极所导致的触控性能不稳定的问题。
根据本公开的一个方面,本公开实施例提供一种电致发光显示面板的制作方法,包括:
在图案化的掩膜版遮挡下,采用蒸镀工艺在预设发光层的至少一侧形成具有与所述掩膜版的图案相对应图案的电极层,其中,所述预设发光层为用于形成所述电致发光显示面板发光层的膜层。
可选地,还包括根据所要形成的所述电极层的图案,形成具有图案化的所述掩膜版的步骤。
可选地,所述根据所要形成的电极层的图案,形成具有图案化的所述掩膜版的步骤,具体包括:根据所要形成的所述电极层的图案划分的至少两部分子图案,分别形成对应所述子图案的所述掩膜版。
可选地,所述电极层为阴极层,所述阴极层复用为触控电极层。
可选地,所述触控电极层包括多个相互间隔的子触控电极以及与每一所述子触控电极一一对应相连的触控引线,所述掩膜板包括第一子掩膜板和第二子掩膜板,其中,所述第一子掩膜板包括与所述子触控电极相匹配的图案,所述第二子掩膜板包括与所述触控引线相匹配的图案;
在图案化的掩膜版遮挡下,采用蒸镀工艺在预设发光层的至少一侧形成具有与所述掩膜版的图案相对应图案的电极层,具体包括:
在所述第一子掩膜板的遮挡下,采用蒸镀工艺在所述预设发光层之上形成所述子触控电极的图案;
在所述第二子掩膜板的遮挡下,采用蒸镀工艺在形成有所述子触控电极的所述电致发光显示面板形成所述触控引线的图案,其中,所述触控引线与所述子触控电极一一对应相连;
或者,所述分别在所述第一子掩膜板和所述第二子掩膜板的遮挡下,采用蒸镀工艺在所述有机显示面板的所述预设发光层一侧形成触控电极,具体包括:
在所述第二子掩膜板的遮挡下,采用蒸镀工艺在所述预设发光层之上形成所述触控引线的图案;
在所述第一子掩膜板的遮挡下,采用蒸镀工艺在形成有所述触控引线的所述电致发光显示面板形成所述子触控电极的图案,其中,所述触控引线与所述子触控电极一一对应相连。
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