[发明专利]一种多元醇硼酸酯络合物硼扩散源及其制备方法

权利要求书

1.一种多元醇硼酸酯络合物硼扩散源及其制备方法，其特征在于硼源由多元醇和硼酸形成的络合物以及二元醇醚类溶剂组成，其制备方法是：按设定的硼浓度和n(多元醇/硼酸)称取硼酸、多元醇和溶剂，先将硼酸倒入溶剂中加热搅拌，待其溶解后再将多元醇加入溶液中继续加热搅拌，随后停止加热并继续搅拌至室温。

2.根据权利要求1所述的硼源的制备方法，其特征在于所述多元醇为脱水的葡萄糖、甘露醇和山梨醇。

3.根据权利要求1和2所述的液态硼源的制备方法，其特征在于多元醇和硼酸的摩尔比为0-0.5。

4.根据权利要求1所述的液态硼源的制备方法，其特征在于所述溶剂为乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、乙二醇乙醚乙酸酯、丙二醇甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯等二元醇醚类溶剂。

5.根据权利要求1和4所述的液态硼源的制备方法，其特征在于硼酸在溶剂中的质量百分浓度为1-10wt%。

6.根据权利要求1所述的液态硼源的制备方法，其特征在于加热搅拌的温度为60-90℃。

7.权利要求1和所述的液态硼源及的制备方法，其特征在于反应加料顺序为先硼酸后多元醇。

8.根据权利要求1和7所述的液态硼源的制备方法，其特征在于加入多元醇后的加热搅拌时间为0.5-1h。

9.根据权利要求1所述的液态硼源的制备方法，其特征在于停止加热后需继续搅拌0.5-1h至室温。