[发明专利]一种低成本制备ZnO&TiO2异质结薄膜的方法

权利要求书

1.一种低成本制备ZnO&TiO₂异质结薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、采用阳极氧化法制备锐钛矿型的TiO₂纳米管阵列薄膜；

步骤2、将醋酸锌加入去离子水中，配制得到浓度为0.2～1mol/L的醋酸锌前驱液；然后将步骤1制得的TiO₂纳米管阵列薄膜浸泡于醋酸锌前驱液中，使前驱体充分进入纳米管内部，取出，干燥；

步骤3、将步骤2处理后的样品置于管式炉内，在450～500℃温度下热处理1～3h，反应完成后，随炉自然冷却至室温，取出，即可得到所述ZnO&TiO₂异质结薄膜。

2.根据权利要求1所述的低成本制备ZnO&TiO₂异质结薄膜的方法，其特征在于，步骤1所述采用阳极氧化法制备锐钛矿型的TiO₂纳米管阵列薄膜的具体过程为：

1.1将氟化物加入醇类溶剂和去离子水形成的混合溶剂中，搅拌混合均匀，得到氟化物的质量百分比为0.3wt％～0.5wt％的含氟电解液；

1.2将金属钛片依次在无水乙醇和去离子水中超声清洗，烘干待用；

1.3将步骤1.2清洗干净的金属钛片平行放置，作为阳极和阴极，步骤1.1配制的含氟电解液作为电解液，采用阳极氧化法在阳极的金属钛片上制备TiO₂纳米管阵列薄膜，其中，阳极氧化电压为55～60V，阳极氧化的时间为1～2h；

1.4将步骤1.3得到的TiO₂纳米管阵列取出，在无水乙醇中浸泡10～16h后，在70～100℃温度下烘干；然后放入管式炉内，在450～500℃温度下退火2～3h，得到锐钛矿型的TiO₂纳米管阵列薄膜。

3.根据权利要求2所述的低成本制备ZnO&TiO₂异质结薄膜的方法，其特征在于，步骤1.1所述氟化物为氟化铵、氟化钠或氟化钾，所述醇类溶剂为乙二醇或丙三醇。