[发明专利]半导体器件的制造方法、基板处理装置及记录介质有效

申请号：	201780093376.3	申请日：	2017-07-28
公开（公告）号：	CN110945638B	公开（公告）日：	2023-04-04
发明（设计）人：	宫田智之;安彦一;川崎润一;冈崎正	申请（专利权）人：	株式会社国际电气
主分类号：	H01L21/67	分类号：	H01L21/67
代理公司：	北京市金杜律师事务所 11256	代理人：	陈伟;刘伟志
地址：	日本***	国省代码：	暂无信息
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摘要：
搜索关键词：	半导体器件制造方法处理装置记录介质
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【说明书】：

提供一种即使在基板发生了异常的状况下，检测基板状态的机构也会不与基板接触地检测基板状态的技术。根据本发明的一个实施方式，提供如下技术，具有：将载置有多枚基板的状态下的基板保持件搬入到反应管内的工序；向反应管内供给气体而对基板进行处理的工序；在对基板进行处理后将基板保持件从反应管搬出的工序；和在以能够移载基板的位置为基准使基板保持件旋转了规定角度的状态下对载置于基板保持件的基板进行检测的工序。

技术领域

本发明涉及用于处理半导体器件等基板的半导体器件的制造方法、基板处理装置及记录介质。

背景技术

公知如下基板处理装置(以下也简称为处理装置)，具有多层地保持基板(以下也称为晶片)的基板保持件(以下也称为舟皿)、和将基板移载到该舟皿的移载机，在舟皿中保持有多个基板的状态下通过处理炉对基板进行处理。在该处理装置中，在处理炉内升温时，或在从处理炉取出而冷却时，由于热应力而存在基板产生裂纹、翘曲等异常的情况。在该裂纹或翘曲处于无法通过基板自动搬送机构自动搬送的级别的情况下，取出放入基板的基板保持体(以下也称为镊子)会与基板发生碰撞而推倒舟皿，导致例如损坏石英制部件等重大事故。

为了解决这个问题，可以想到设置检测基板状态的机构。例如，在专利文献1中，记载有如下内容：在移载机上设置光电传感器，使用移载机的上下轴来移动光电传感器，检测基板保持件的基板。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开2005-031851号公报

发明内容

本发明的目的在于提供一种即使在基板发生异常的状况下，检测基板状态的机构也会不与基板接触地检测基板状态的技术。

根据本发明的一个方案，提供一种技术，具有：将载置有多枚基板的状态下的基板保持件搬入到反应管内的工序；向反应管内供给气体而对基板进行处理的工序；在对基板进行处理后将基板保持件从反应管搬出的工序；和在以能够移载基板的位置为基准使基板保持件旋转了规定角度的状态下对载置于基板保持件的基板进行检测的工序。

发明效果

根据本发明，能够保持以往结构而不伴随难度改造，检测基板状态的机构不与基板接触地进行基板的检测。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式的基板处理装置的立体图。

图2是图1所示的基板处理装置的侧面透视图。