[发明专利]激光脉冲切出装置及激光加工方法

权利要求书

1.一种激光脉冲切出装置，其特征在于，具有：

光束偏转器，通过来自外部的指令，将入射的激光光束转向至朝向加工对象物的不同加工路径；以及

控制装置，向所述光束偏转器赋予指令，以使所述光束偏转器将从入射至所述光束偏转器的1个原始激光脉冲朝向所述不同加工路径分别切出脉冲宽度及脉冲能量不同的多个激光脉冲。

2.根据权利要求1所述的激光脉冲切出装置，其特征在于，

所述控制装置具有多个控制模式。

3.根据权利要求1所述的激光脉冲切出装置，其特征在于，

所述控制装置，具有如下功能：在从多个控制模式选择的1个所述控制模式下控制所述光束偏转器，在各 所述控制模式下，设定从所述原始激光脉冲切出的脉冲宽度、切出的激光脉冲的个数及激光脉冲间的间隔，在1个所述原始激光脉冲的脉冲宽度内切换所述控制模式。

4.一种激光脉冲切出装置，其特征在于，具有：

控制装置，在从多个控制模式选择的1个所述控制模式下，对将入射的激光光束转向至朝向加工对象物的不同加工路径的光束偏转器进行控制；

显示装置，通过来自所述控制装置的控制显示图像；以及

输入装置，

各 所述控制模式以控制参数来规定，所述控制参数包括从入射至所述光束偏转器的原始激光脉冲朝向所述不同加工路径分别切出的激光脉冲的脉冲宽度、切出的激光脉冲的个数及激光脉冲间的间隔，

所述控制装置将提示所述控制参数的输入的图像信息显示于所述显示装置，获得从所述输入装置输入的所述控制参数。

5.一种激光加工方法，其特征在于，

通过向光束偏转器赋予指令，从入射至所述光束偏转器的1个原始激光脉冲朝向不同加工路径分别切出脉冲宽度及脉冲能量不同的多个激光脉冲来入射至加工对象物，来进行加工对象物的激光加工。

6.根据权利要求5所述的激光加工方法，其特征在于，

在从1个所述原始激光脉冲切出多个激光脉冲的期间的中途，缩短切出的激光脉冲的脉冲宽度，由此减小脉冲能量并且在所述加工对象物形成孔。