[发明专利]用于真空腔室的门密封件

说明书

本文描述具有可充气狭缝阀开口密封件的真空腔室。在一个示例中，一种真空腔室包括腔室主体、第一可充气密封件和第一狭缝阀门。所述腔室主体具有顶部、底部和侧壁。第一狭缝阀开口形成在所述侧壁中。所述第一可充气密封件密封地耦接至所述侧壁并包围所述第一狭缝阀开口。所述第一可充气密封件具有耦接至所述侧壁的基部和可相对于所述基部侧向地移动的中空管状部分。所述第一狭缝阀门可在接触所述第一可充气密封件以在所述第一狭缝阀门与所述腔室主体之间提供真空密封的关闭状态与使所述第一狭缝阀门脱离所述第一狭缝阀开口的打开状态之间移动。

技术领域

本文描述的实施方式大体涉及用于真空腔室的门密封件，并且更具体地涉及具有门密封件的真空腔室。

背景技术

等离子体显示面板、液晶显示器、太阳能面板、有机发光二极管(OLED)显示器经常用于显示器和太阳能面板。在显示器和太阳能面板的制造期间，必须将大面积基板从工厂接口(factory interface)的大气环境传送到处理基板的处理系统的真空环境。装载锁定腔室用于从大气环境接收基板，泵吸到真空状态，然后将基板引入处理系统的真空环境。使用狭缝阀完成装载锁定腔室与大气环境和真空环境的选择性隔离。

狭缝阀一般包括接触狭缝阀门的密封表面的密封件和附连到装载锁定腔室或其部分的狭缝阀密封板。由于当装载锁定腔室被泵吸到真空状态、通风到大气并再次泵吸到真空状态时的压力差，腔室主体和门可能略微弯曲，由此导致狭缝阀门和狭缝阀密封板相对于彼此移动。当门和密封板相对于彼此移动时，用于在门与密封板之间提供真空密封的密封件，诸如O形环或密封垫圈，可相对于这些表面中的一个摩擦或滑动，由此不期望地产生不想要的颗粒，不想要的颗粒可能变为处理污染物。此外，摩擦会缩短密封件的寿命，从而必需更频繁地更换密封件。

因此，需要一种用于真空腔室的改善的狭缝阀门密封件。

发明内容

本文描述的实施方式包括具有可充气狭缝阀密封件的真空腔室。在一个示例中，一种真空腔室包括腔室主体、第一可充气密封件和第一狭缝阀门。所述腔室主体具有顶部、底部和侧壁。第一狭缝阀开口形成在所述侧壁中。所述第一可充气密封件密封地耦接至所述侧壁并包围所述第一狭缝阀开口。所述第一狭缝阀门可在接触所述第一可充气密封件以在所述第一狭缝阀门与所述腔室主体之间提供真空密封的关闭状态与使所述第一狭缝阀门脱离所述第一狭缝阀开口的打开状态之间移动。所述第一可充气密封件具有耦接至所述侧壁的基部和在所述狭缝阀门处于所述关闭状态时可相对于所述基部侧向地移动的中空管状部分。

在另一个示例中，所述真空腔室进一步包括：第二狭缝阀开口，所述第二狭缝阀开口穿过所述侧壁形成；第二狭缝阀门，所述第二狭缝阀门可在关闭位置与打开位置之间移动；和第二可充气密封件。在所述打开位置，所述第二狭缝阀门脱离所述第二狭缝阀开口以允许基板通过。当所述第二狭缝阀门处于所述关闭位置(例如，关闭状态)时，所述第二可充气密封件经定位以密封所述第二狭缝阀开口。

在又一个示例中，提供了一种真空腔室，所述真空腔室包括腔室主体、第一狭缝阀门、第一可充气密封件和密封夹(seal clamp)。所述腔室主体具有顶部、底部和侧壁。所述侧壁具有至少形成在其中的第一狭缝阀开口。所述第一狭缝阀门可在关闭状态与打开状态之间移动。当处于所述打开状态时，所述第一狭缝阀门脱离所述第一狭缝阀开口。所述第一可充气密封件设置在所述第一狭缝阀门与所述腔室主体之间，并且包围所述第一狭缝阀开口。所述第一可充气密封件具有基部，所述基部通过颈部耦接至中空管状部分。当所述第一狭缝阀门处于所述关闭状态时，所述中空管状部分在所述第一狭缝阀门与所述腔室主体之间提供密封。所述第一可充气密封件的所述中空管状部分具有小于约90肖氏A的硬度。所述密封夹具有凹部，所述凹部具有比所述中空管状部分的宽度宽至少5％的宽度。所述凹部具有孔隙，所述颈部延伸穿过孔隙到可相对于所述基部侧向地移动的中空管状部分，当所述第一狭缝阀门处于所述关闭状态时，所述凹部的宽度足以允许所述中空管状部分在所述第一狭缝阀门相对于所述基部侧向地移动时相对于所述基部滚动。

附图说明