[发明专利]激光光源及使用激光光源的激光加工装置

说明书

激光光源(12)用于激光加工装置(10)，响应于触发信号(S₁)进行振荡，而产生激光脉冲(6)。激光脉冲通过光学系统而照射于对象物。控制装置(16)对激光光源(12)输出触发信号(S₁)。驱动电路(60)响应于触发信号(S₁)而使高频电源(50)动作，并且若直流电压(V_DC)脱离容许范围，则激活照射禁止信号(S₃)。激光加工装置(10)构成为，在照射禁止信号(S₃)被激活时不向对象物照射激光脉冲。

技术领域

本发明涉及一种激光加工装置用的激光驱动装置。

背景技术

作为工业用的加工工具，已广泛普及激光加工装置。激光加工装置的加工精度取决于激光光源产生的激光脉冲的特性、例如能源、强度、时间波形等。因此，为了实现高精度的加工，需要从激光光源产生偏差较小的激光脉冲。

在专利文献1中公开有一种技术：通过光检测器来测定取决于激光脉冲的能源的物理量，并在测定的物理量脱离容许值的情况下，以激光脉冲不向对象物照射的方式，向其他路径放出。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-186818号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

现有技术中，即使激光脉冲的能源脱离容许值的情况下，也产生激光，会消耗不必要的能源。并且，由于需要收集(吸收)向其他路径放出的激光光，因此也会存在装置变大的问题。

本发明是在这种情况下而完成的，其一方式的例示性目的之一为，根据与现有不同的途径，提供一种抑制了发射不良的激光加工装置及其激光光源。

用于解决技术课题的手段

本发明的一方式涉及一种激光加工装置。激光加工装置具备：激光光源，响应于触发信号进行振荡，而产生激光脉冲；光学系统，向对象物照射激光脉冲；及控制装置，对激光光源输出触发信号。激光光源具备：放电电极；直流电源，产生直流电压；高频电源，接受直流电压，在放电电极之间产生高频电压；及驱动电路，响应于触发信号而使高频电源动作，并且若直流电压脱离容许范围，则生成被激活的照射禁止信号。激光加工装置构成为，在照射禁止信号被激活时不向对象物照射激光脉冲。

根据该方式，对规定施加于放电电极的高频电压的振幅的直流电压进行监视，由此能够在实际上使激光光源进行振荡之前推断发射不良。

驱动电路在照射禁止信号被激活时，可以不使高频电源动作。由此，在照射禁止信号被激活时，由于能够防止激光的振荡，因此能够抑制不必要的电力，并且抑制发射不良。

控制装置在照射禁止信号被激活时，可以不输出触发信号。由此，能够防止照射禁止信号被激活时的高频电源的动作。

容许范围可以比直流电压的目标值的±10％小。更优选规定成容许范围的上限及下限比直流电压的目标值的±5％小的范围，也可以进一步优选规定成比目标值的±1％小的范围。

本发明的另一方式涉及一种激光加工装置用的激光光源。激光光源是根据来自控制装置的触发信号而发光的激光加工装置用的激光光源，其具备：放电电极；直流电源，产生直流电压；高频电源，接受直流电压，在放电电极之间产生高频电压；及驱动电路，响应于触发信号而使高频电源动作，并且若直流电压脱离容许范围，则生成表示发光禁止的标记信号。

另外，在方法、装置、系统等之间相互置换以上构成要件的任意的组合或本发明的构成要件和表现的方式也作为本发明的方式有效。

发明效果

根据本发明的一方式，能够抑制发射不良。

附图说明