[发明专利]激光光源及使用激光光源的激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其特征在于，具备：

激光光源，响应于触发信号进行振荡，而产生激光脉冲；

光学系统，向对象物照射所述激光脉冲；及

控制装置，对所述激光光源输出触发信号，

所述激光光源具备：

放电电极；

直流电源，产生直流电压；

高频电源，接受所述直流电压，在所述放电电极之间产生高频电压；及

驱动电路，响应于所述触发信号而使所述高频电源动作，并且在所述高频电源的切换动作之前，若所述直流电压脱离容许范围，则生成被激活的照射禁止信号，

所述激光加工装置构成为，在所述照射禁止信号被激活时不向对象物照射激光脉冲。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

所述驱动电路在所述照射禁止信号被激活时，不使所述高频电源动作。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，

所述控制装置在所述照射禁止信号被激活时，不输出所述触发信号。

4.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，

所述容许范围比直流电压的目标值的±10%小。

5.一种激光光源，其为根据来自控制装置的触发信号而发光的激光加工装置用的激光光源，其特征在于，具备：

放电电极；

直流电源，产生直流电压；

高频电源，接受所述直流电压，在所述放电电极之间产生高频电压；及

驱动电路，响应于所述触发信号而使所述高频电源动作，并且在所述高频电源的切换动作之前，若所述直流电压脱离容许范围，则生成表示发光禁止的标记信号。