[发明专利]真空处理室及制造真空处理的板形基底的方法

权利要求书

1.一种用于至少一个板形基底(23)的真空处理室(1;101)，包括：

·真空容器(3;103)，其具有侧壁(5;105)，所述侧壁(5;105)环绕中心轴线(B;B₁₀₀)且包括泵送端口(7;142)；

·所述真空容器(3;103)内的隔板(13;113)，所述隔板(13;113)环绕所述中心轴线(B;B₁₀₀)且通过空的中间空间与所述真空容器(3;103)的所述侧壁(5;105)间隔开，所述隔板(13;113)包括顶部区域和底部区域；

·静止的基底支承件(11;132)，其在所述底部区域处暴露于所述隔板(13;113)内部，且所述基底支承件(11;132)适于在板形基底(23)的二维延伸的表面中的一个处且沿垂直于所述中心轴线(B;B₁₀₀)的支承平面(E)支承所述板形基底(23)，

·所述侧壁(5;105)中的至少一个基底装卸开口(25;125)，其中开口中心轴线垂直于所述中心轴线(B,B₁₀₀)且与所述中心轴线(B,B₁₀₀)交叉；以及

·所述隔板(13;113)中的至少一个基底装卸切口(17;117)，

所述基底装卸开口(25;125)和所述基底装卸切口(17;117)相互对齐，且定制成允许朝向所述基底支承件(11;132)和从所述基底支承件(11;132)穿过所述基底装卸开口(25;125)和所述基底装卸切口(17;117)装卸板形基底(23)；

·能够驱动地移动的隔板闸门(19;119)，其驱动地空出和覆盖所述基底装卸切口(17;117)；

所述隔板(13;113)具有导电表面，所述隔板闸门(19;119)具有导电闸门表面，至少在所述基底装卸切口(17;117)由所述隔板闸门(19;119)覆盖时所述导电闸门表面与所述隔板(13;113)的所述导电表面电接触；

所述基底支承件(11;132)包括用于所述板形基底的导电支承表面，所述导电支承表面电连接至所述真空处理室(1;101)的RF偏压源连接器；

所述真空容器(3;103)的所述侧壁(5;105)连接到系统接地连接器(130)；

并且还包括环绕所述中心轴线(B;B₁₀₀)且在所述隔板(13;113)的所述底部区域附近的底部护罩(126)，

所述底部护罩(126)是金属的并且连接到所述系统接地连接器(130)；

所述隔板(13;113)在其底部区域，一方面经由所述底部护罩(126)与所述系统接地连接器(130)成平行不同电接触，并且在另一方面经由所述侧壁(5;105)与所述系统接地连接器(130)成平行不同电接触，所述底部护罩(126)另外与所述真空处理室(1;101)的其它部分电隔离。

2.根据权利要求1所述的真空处理室，其特征在于，所述隔板是金属的。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的真空处理室，其特征在于，所述隔板是维护更换部分。

4.根据权利要求1或权利要求2所述的真空处理室，其特征在于，所述隔板闸门是金属的。

5.根据权利要求1或权利要求2所述的真空处理室，其特征在于，所述隔板闸门沿平行于所述中心轴线的方向能够驱动地移动。

6.根据权利要求1或权利要求2中的一项所述的真空处理室，其特征在于，所述基底支承件包括至少三个销，所述销在所述支承平面上方突出，且所述销沿其轴线且相对于所述支承平面能够驱动地缩回和提升。

7.根据权利要求6所述的真空处理室，其特征在于，在其突出位置的所述销限定平行于所述支承平面的另一个支承平面，所述另一个支承平面与所述隔板内的所述中心轴线交叉。

8.根据权利要求1或权利要求2所述的真空处理室，其特征在于，所述支承平面与所述隔板内的所述中心轴线交叉。