[发明专利]在测量桌上检测掩模夹具的位置的方法

权利要求书

1.一种检测光刻掩模(2)的掩模夹具(1)的位置的方法，所述方法包括：

-在测量设备的测量桌上定位具有所述掩模(2)的所述掩模夹具(1)，

-通过算法测量所述掩模夹具(1)，包括使用边缘查找算法来测量掩模夹具边缘，

-储存所述测量桌上的所述掩模夹具(1)的绝对位置，

其中，

记录并储存至少一个参考图像，以及所述参考图像包括夹具边缘的部分，

所述方法还包括：

-再次装载所述掩模夹具(1)，

-在所述储存的绝对位置处定位所述掩模夹具(1)，

-记录至少一个测量图像，

-通过比较测量图像中的至少一个部分与所述参考图像中的至少一个部分来确定所述掩模夹具(1)的新位置的相对位置。

2.根据权利要求1所述的方法，

其特征在于，

通过二维相互关联的图像分析来实施所述比较。

3.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，

其特征在于，

出于确定在所述测量桌上的所述掩模夹具(1)的位置的系统误差的目的，在不同旋转位置测量所述掩模(2)的几何参数。

4.根据权利要求3所述的方法，

其特征在于，

在相应地偏移90°的四个旋转位置测量所述掩模(2)，为每个旋转位置确定所述掩模(2)上的位置标记的中心性。