[发明专利]散斑测量设备和散斑测量方法

权利要求书

1.一种散斑测量设备，包括：

成像器，其在利用相干光照射待测量对象时捕获从所述待测量对象返回的散射光图像作为散斑图像；以及

控制器，其基于所述待测量对象与所述成像器之间的相对位置关系的移动量来确定按时间序列连续捕获的多个散斑图像中对应于所述待测量对象的相同位置的测量区域，

所述控制器被配置成：将由所述成像器捕获的散斑图像的坐标空间划分为均具有预定大小的多个划分区域；确定具有最小区域特定噪声分量的划分区域作为测量区域；从下一时刻的散斑图像中检索与所述测量区域的散斑图像具有最高重合度的区域；并且将所检索到的区域视为在下一时刻的测量区域。

2.根据权利要求1所述的散斑测量设备，其中，

所述控制器被配置成：比较由所述成像器按时间序列连续捕获的所述多个散斑图像；检测所述待测量对象与所述成像器之间的位置关系的移动量；以及根据检测到的移动量来确定所述多个散斑图像中的对应于所述待测量对象的相同位置的所述测量区域。

3.根据权利要求1所述的散斑测量设备，其中，

所述控制器被配置成确定相对于相干光强度的改变而不线性改变的图像信号作为局部噪声。

4.根据权利要求3所述的散斑测量设备，其中，

所述控制器被配置成从测量区域排除所有现有散斑的亮度的对比度差的平均值、最大值和中值中的任何一个在阈值以下的划分区域。

5.一种散斑测量方法，包括：

利用相干光照射待测量对象；

捕获从所述待测量对象返回的散射光图像作为散斑图像；以及

由控制器基于所述待测量对象和成像器之间的相对位置关系的移动量，确定按时间序列连续捕获的多个散斑图像中对应于所述待测量对象的相同位置的测量区域，

所述控制器将由所述成像器捕获的散斑图像的坐标空间划分为均具有预定大小的多个划分区域；确定具有最小区域特定噪声分量的划分区域作为测量区域；从下一时刻的散斑图像中检索与所述测量区域的散斑图像具有最高重合的区域；并且将所检索到的区域视为下一时刻的测量区域。

6.根据权利要求5所述的散斑测量方法，其中，

所述控制器比较由所述成像器按时间序列连续捕获的所述多个散斑图像；检测所述待测量对象与所述成像器之间的位置关系的移动量；以及根据检测到的移动量来确定多个散斑图像中对应于所述待测量对象的相同位置的测量区域。

7.根据权利要求5所述的散斑测量方法，其中，

所述控制器确定相对于相干光强度的改变而不线性改变的图像信号作为局部噪声。

8.根据权利要求5或7所述的散斑测量方法，其中，

所述控制器从测量区域排除所有现有散斑的亮度的对比度差的平均值、最大值和中值中的任何一个在阈值以下的划分区域。