[发明专利]成膜掩模、其制造方法及成膜掩模的修复方法

说明书

本发明提供一种成膜掩模、其制造方法及成膜掩模的修复方法，所述成膜掩模具备：掩模片(1)，其在设置有多个开口图案(7)的薄膜层(4)上层叠设置有内包至少一个所述开口图案(7)的多个贯通孔(8)的金属层(5)，并且将一个面区划成包含多个所述开口图案(7)及贯通孔(8)的多个单位单元(6)；金属制的支承部件(2)，其与没有外在张力状态的所述掩模片(1)的所述金属层(5)接合而支承该所述掩模片，且与所述掩模片(1)的所述单位单元(6)相对应地具有开口部(10)。由此，对于薄膜图案的成膜能够确保较高的形状精度及位置精度。

技术领域

本发明涉及一种层叠有薄膜层和金属层的构造的成膜掩模，特别是涉及可以对薄膜图案的成膜确保较高的形状精度及位置精度的成膜掩模、其制造方法及成膜掩模的修复方法。

背景技术

现有的成膜掩模相对于具有开口部的框架以覆盖该开口部的方式进行铺设，并且，将形成有用于使蒸镀材料透过的多个开口图案的多个金属薄膜焊接而成(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009－41054号公报

发明所要解决的技术问题

但是，在这种现有的成膜掩模中，形成有多个开口图案的金属薄膜在以不产生褶皱或松弛的方式附加了规定张力的状态下粘着于框架，因此，存在因所述张力的附加而开口图案变形、或者开口图案的位置错位的问题。因此，难以确保较高的成膜形状精度及成膜位置精度。

另外，在现有的成膜掩模中，由于开口图案是蚀刻金属薄膜而形成，所以因蚀刻的各向同性而难以对开口图案确保较高的形状精度。因此，难以进行高精细的薄膜图案的成膜。

发明内容

因此，本发明应对这种问题点，其目的在于，提供一种可以对薄膜图案的成膜确保较高的形状精度及位置精度的成膜掩模、其制造方法及成膜掩模的修复方法。

用于解决问题的技术方案

为了实现上述目的，本发明的第一方面提供一种成膜掩模，其具备：掩模片，其在设置有多个开口图案的薄膜层上层叠设置有内包至少一个所述开口图案的多个贯通孔的金属层，并且，将一个面区划成包含多个所述开口图案及贯通孔的多个单位单元；金属制的支承部件，其与没有外在张力状态的所述掩模片的所述金属层接合而支承该所述掩模片，且与所述掩模片的所述单位单元相对应地具有开口部。

另外，本发明的第二方面提供一种成膜掩模的制造方法，其进行如下工序：形成掩模片的工序，在透明基板上依次层叠设置有多个开口图案的薄膜层和设置有内包至少一个所述开口图案的多个贯通孔的金属层而形成所述掩模片，并且，将一个面区划成包含多个所述开口图案及贯通孔的多个单位单元；接合金属制的支承部件的工序，将与所述单位单元相对应地具有开口部的所述支承部件接合在没有外在张力状态的所述掩模片的所述金属层上；以及，将所述透明基板从所述掩模片剥离的工序。

进而，本发明的第三方面提供一种成膜掩模的制造方法，其进行如下工序；形成掩模片的工序，在透明基板上依次层叠薄膜层和设置有多个贯通孔的金属层而形成所述掩模片，并且，将一个面区划成包含多个所述贯通孔的多个单位单元；接合金属制的支承部件的工序，将与所述单位单元相对应地具有开口部的所述支承部件接合在没有外在张力状态的所述掩模片的所述金属层上；将所述透明基板从所述掩模片剥离的工序；以及，从所述金属层侧对所述掩模片照射激光，在所述贯通孔内的薄膜层形成至少一个开口图案的工序。