[发明专利]光调制器

权利要求书

1.一种MZ型光调制器，其特征在于，具备：

Si光调制器，包含：输入光波导、使从输入光波导输入的光分支并进行波导的两个臂波导、将分别在所述两个臂波导进行波导的光合波并输出的输出光波导、分别与所述两个臂波导并列配置的用于施加高频信号的两个信号电极、以及设于所述两个信号电极之间的用于施加偏压的DC电极；以及

至少一个接地电极，与所述两个信号电极并列配置，

输入至所述两个信号电极的所述高频信号是一对差分信号，

所述接地电极至少配置有两个以上，

配置于所述Si光调制器的两侧的接地电极彼此通过多层布线的电气布线而多点连接。

2.根据权利要求1所述的MZ型光调制器，其特征在于，具备：

接地布线，在多处与所述接地电极连接；以及

屏蔽部，包含与地线连接的包括表面布线、下层布线的多层布线以及电连接所述表面布线和下层布线的过孔，并至少部分地包围所述接地布线。

3.根据权利要求2所述的MZ型光调制器，其特征在于，还具备：

另一屏蔽部，包含与地线连接的包括上层布线、下层布线的多层布线以及电连接所述上层布线和下层布线的另一过孔，并至少部分地包围所述DC电极。

4.根据权利要求1所述的MZ型光调制器，其特征在于，

所述Si光调制器并列配置有N个，其中，N是2以上的整数，

所述接地电极在所述Si光调制器的两侧并列配置有N+1个，

设于邻接的所述Si光调制器之间的所述接地电极被邻接的所述Si光调制器共用。

5.根据权利要求1所述的MZ型光调制器，其特征在于，

所述多点间的距离是所述高频信号的波长的1/2以下。

6.一种光调制器，其特征在于，具备：

权利要求1至4中任一项所述的MZ型光调制器；以及

驱动器，与所述MZ型光调制器配置于同一平面上，

所述接地电极经由电气布线而与配置于所述驱动器内的接地焊盘电连接。

7.一种光调制器，其特征在于，具备：

权利要求2所述的MZ型光调制器；以及

驱动器，与所述MZ型光调制器配置于同一平面上，

所述接地电极、所述接地布线、以及所述屏蔽部中的一个或者多个经由电气布线而与配置于所述驱动器内的接地焊盘电连接。