[发明专利]物理量传感器

说明书

一种物理量传感器(100)包括：检测元件(61)，其包括驱动电极(65,66)以及检测电极(67)；集成电路(IC)(88)，其处理由检测电极(61)提供的输出信号；壳体(70)，其具有开口并容纳检测元件(61)和IC(88)；盖子(89)，其呈长方体形状并且闭塞壳体(70)的开口；电源电极(76)、接地(GND)电极(77)和输出电极(78)，这三种电极设置在壳体(70)的外底表面上；以及金属框架(79)，其设置在壳体(70)的上表面上。盖子(89)接合至金属框架(79)并且包括弯曲部(91)，其在盖子上形成于在俯视图中比仅与盖子(89)的接合至金属框架(79)的边侧中的纵向边对应的接合部(90)更内部位置处并且沿着仅对应于该纵向边的接合部(90)形成。

技术领域

本发明涉及物理量传感器，尤其涉及用于诸如飞行器、车辆等移动物体的姿态控制、导航系统等的物理量传感器。

背景技术

常规上已知的这种物理量传感器包括陀螺仪等。常规物理量传感器具有如图13和图14所示的构造，用于抑制由于应力大约在壳体的外表面的中心部分处集中所导致的破裂。

图13示出了常规物理量传感器的横截面侧表面。图14以俯视图示出了常规物理量传感器的盖子。

如图13和图14所示，常规物理量传感器包括集成电路(IC)1以及壳体2。在IC 1中，设置有诸如压电振动器的检测元件(未示出)。IC 1处理来自检测元件的输出信号。壳体2例如由玻璃陶瓷制成并容纳IC 1。

壳体2在外底表面上包括电源电极3、输出电极4和接地(GND)电极(未示出)。电源电极3、输出电极4和GND电极(未示出)经由布线导体5和引线6电连接到IC 1和检测元件(未示出)。另外，金属化层7设置在壳体2的上表面上。

金属框架8设置在金属化层7上。金属框架8例如由Fe、Ni和Co的合金制成并且被钎焊至金属化层7。盖子9设置在金属框架8上。盖子9例如由Fe、Ni和Co的合金制成并且例如通过钎焊而接合至金属框架8。如图14中所示，盖子9在俯视图中呈正方体的形状。

弯曲部10形成于盖子9中。弯曲部10具有弯曲为向下突出的形状，并且弯曲部10在盖子9上形成于比金属框架8和盖子9之间的接合部11更内部位置处并沿着接合部11以在盖子9的整个周向上延伸。

下文特别描述将盖子9附接至如上所述构造的常规物理量传感器的壳体2的方法。

首先，通过经由金属框架8将电流供应至设置在壳体2的开口中的盖子9而生成焦耳热，并且盖子9的由Fe、Ni和Co的合金所制成的连接部被加热到1449摄氏度的熔点以熔化。接下来，将盖子9朝壳体2按压，以使壳体2和盖子9彼此连接。此时，盖子9的温度整体上升高到平均约700摄氏度。

随后，当物理量传感器的温度降低到室温时，盖子9收缩。此时，存在由于盖子9的收缩而施加到壳体2的外表面的拉伸应力所导致的在壳体2的外表面中出现破裂的情况。

因此，常规物理量传感器在盖子9中具有弯曲部10。以这种方式，即使盖子9收缩，弯曲部10也会弯曲以减小施加到壳体2的外表面的拉伸应力，并因此可以抑制壳体2的外表面中的破裂。

如上所述，弯曲部10在盖子9上形成于比金属框架8和盖子9之间的接合部11更内部位置处并且沿着接合部11形成为在盖子9的整个周向上延伸。因此，在俯视图中呈正方形形状的盖子9中，可以均匀地减小在盖子9的四个侧面中所生成的拉伸应力。

例如，专利文献(PTL)1已知为有关于与本申请的公开内容相关的背景技术文献的信息。

引用列表

专利文献

[PTL 1]日本未审查专利申请公开No.2006-332599

发明内容

技术问题