[发明专利]含第Ⅳ族金属元素的烷氧基化合物、其制备方法、包含其的膜沉积用前体组合物和利用该组合物的膜沉积方法

权利要求书

1.一种含第Ⅳ族金属元素的化合物，所述化合物由下列化学式1表示：

[化学式1]

在所述化学式1中，

M是Ti原子、Zr原子或Hf原子，

R¹至R⁴分别独立地为氢原子，或碳原子数为1至4的直链或支链烷基，

R⁵和R⁶分别独立地为碳原子数为1至4的直链或支链烷基，

n为1至3的整数。

2.根据权利要求1所述的含第Ⅳ族金属元素的化合物，其中，所述M是Ti原子、Zr原子或Hf原子，所述R⁵和R⁶分别独立地为CH₃、C₂H₅或CH(CH₃)₂，n是1至3的整数。

3.根据权利要求2所述的含第Ⅳ族金属元素的化合物，其中，所述M是Ti原子、Zr原子或Hf原子，所述R⁵和R⁶为CH₃，n为2。

4.一种制备由下列化学式1表示的含第Ⅳ族金属元素的化合物的方法，所述方法包括使由下列化学式2表示的化合物和碳原子数为1至4的直链或支链醇R⁵OH和/或R⁶OH反应：

[化学式2]

在所述化学式2中，

M是Ti原子、Zr原子或Hf原子，

R¹至R⁴分别独立地为氢原子，或碳原子数为1至4的直链或支链烷基，

R⁷至R¹⁰分别独立地为碳原子数为1至4的直链或支链烷基，

n为1至3的整数；

[化学式1]

在所述化学式1中，

M是Ti原子、Zr原子或Hf原子，

R¹至R⁴分别独立地为氢原子，或碳原子数为1至4的直链或支链烷基，

R⁵和R⁶分别独立地为碳原子数为1至4的直链或支链烷基，

n为1至3的整数。

5.一种制备由下列化学式1表示的含第Ⅳ族金属元素的化合物的方法，所述方法包括使由下列化学式3表示的化合物和作为碳原子数为1至4的直链或支链醇的碱金属M'的盐的M'OR⁵和/或M'OR⁶反应：

[化学式3]

在所述化学式3中，

M是Ti原子、Zr原子或Hf原子，

R¹至R⁴分别独立地为氢原子，或碳原子数为1至4的直链或支链烷基，

X是卤素原子，

n为1至3的整数；

[化学式1]

在所述化学式1中，

M是Ti原子、Zr原子或Hf原子，

R¹至R⁴分别独立地为氢原子，或碳原子数为1至4的直链或支链烷基，

R⁵和R⁶分别独立地为碳原子数为1至4的直链或支链烷基，

n为1至3的整数。

6.一种用于沉积膜的前体组合物，包含根据权利要求1至3中任一项所述的含第Ⅳ族金属元素的化合物。

7.一种沉积含第Ⅳ族金属元素的膜的方法，包括利用根据权利要求6所述的用于沉积膜的前体组合物来形成含第Ⅳ族金属元素的膜。