[实用新型]一种延长脉冲式激光脉冲宽度的光路结构

说明书

本实用新型涉及激光领域，具体涉及一种延长脉冲式激光脉冲宽度的光路结构。包括：脉冲式激光器、分光片、反光组件和补偿片；所述脉冲式激光器发射激光光束并入射至分光片，部分激光光束经过分光片向外射出，部分激光光束经过分光片并分光至反光组件，通过反光组件的反射再经过补偿片并入射回分光片，且再次经过分光片向外射出以及分光至反光组件。本实用新型通过设计一种延长脉冲式激光脉冲宽度的光路结构，利用延时效应和光学原理降低脉冲峰值要的同时延长脉冲宽度，可根据工艺需求调节反光组件的两镜片的距离来控制脉冲峰值和脉冲宽度的范围。

技术领域

本实用新型涉及激光领域，具体涉及一种延长脉冲式激光脉冲宽度的光路结构。

背景技术

激光的脉冲宽度，通常是指激光功率维持在一定值时所持续的时间。不同的激光器，其脉冲宽度可以在很大范围内变化，常见的有准连续激光器,脉宽在几十上百个微秒左右，调Q脉冲激光器,脉宽在ns量级,锁模脉宽在ps,fs甚至更短,显然脉宽越短,它包含的频谱分量就越丰富。

目前，根据设备需求和技术方面的原因，对激光脉冲宽度的要求各不相同。如对激光焊接而言，所需激光脉冲宽度不宜太长，否则会影响产品良率。而对于激光退火技术，所需激光脉冲宽度需较长且脉冲峰值不太高。根据需求不同，市面上现有一些设备用于控制激光脉冲宽度，或缩短或延长。

在缩短激光脉冲宽度领域，已有激光调Q技术；在延长激光脉冲宽度领域，现有一些装置和技术，如一种“利用固体倍频激光器倍频激光同时输出的泵浦激光，聚焦后在空气和铜靶上产生等离子体，控制倍频激光的脉宽，可使激光连续可调且保持稳定”。

对于准分子激光设备的纳秒激光而言，需要一种通用性更广且更加简单易操作的脉冲宽度延长装置。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种延长脉冲式激光脉冲宽度的光路结构，解决现有缺少通用性更广且更加简单易操作的脉冲宽度延长装置的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种延长脉冲式激光脉冲宽度的光路结构，包括：脉冲式激光器、分光片、反光组件和补偿片；所述脉冲式激光器发射激光光束并入射至分光片，部分激光光束经过分光片向外射出，部分激光光束经过分光片并分光至反光组件，通过反光组件的反射再经过补偿片并入射回分光片，且再次经过分光片向外射出以及分光至反光组件。

其中，较佳方案是：所述脉冲式激光器为准分子激光器，并发射出纳秒级激光光束。

其中，较佳方案是：所述反光组件包括设置在两侧的第一反光镜片和第二反光镜片，所述分光片的分光方向朝向第一反光镜片设置；其中，所述激光光束通过分光片分光至第一反光镜片的第一反光位置，并依次反射经过第二反光镜片的第二反光位置、第一反光镜片的第二反光位置、第二反光镜片的第一反光位置、补偿片，入射至分光片。

其中，较佳方案是：所述第一反光镜片和第二反光镜片平行设置，两者的间距与射出光路结构的激光光束的脉冲宽度相匹配。

其中，较佳方案是：所述分光片的设置在第一反光镜片和第二反光镜片之间，且与水平面呈135°。

其中，较佳方案是：所述补偿片设置在第二反光镜片与分光片之间，且与水平面呈45°。

其中，较佳方案是：所述补偿片与分光片的位置相对于垂直方向呈1＇20＂的夹角。

其中，较佳方案是：所述分光片位于第一反光镜片的第一反光位置的正上方，所述补偿片位于第二反光镜片的第一反光位置的正上方，所述第一反光镜片的第二反光位置和第二反光镜片的第二反光位置处于同一垂直线上，所述激光光束通过分光片垂直分光至第一反光镜片的第一反光位置，并依次反射经过第二反光镜片的第二反光位置、第一反光镜片的第二反光位置、第二反光镜片的第一反光位置、补偿片，入射至分光片。