[实用新型]半导体设备移动支撑装置

说明书

半导体设备移动支撑装置，包括支撑平板、滚珠法兰和滚珠组成。所述的滚珠与滚珠法兰相连；所述的支撑平板与多个滚珠法兰相连。支撑平板一面与多个滚珠法兰相连，另一面用于支撑半导体设备；滚珠放入滚珠法兰内部圆槽内，通过螺钉固定在滚珠法兰和支撑平板之间。根据需移动设备重量不同，可增加或减少支撑平板上固定的滚珠数量。本实用新型优点：设备结构简单，易于安装，灵活小巧，可承载较重的半导体设备。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备领域，尤其涉及半导体设备移动支撑装置。

背景技术

半导体集成电路制造领域是国家近年来大力发展的行业，是国家未来经济支柱产业。其中，涉及到的半导体设备种类繁多，且多数半导体设备重量较重，净化间厂房中受空间大小限制，多数情况下无法使用吊车进行移动。如何设计一款灵活小巧，载重能力强的移动支撑设备尤为重要。

发明内容

为实现上述目的，本实用新型所提供的技术方案是：半导体设备移动支撑装置，包括支撑平板、滚珠法兰和滚珠组成。所述的滚珠与滚珠法兰相连；所述的支撑平板与多个滚珠法兰相连。支撑平板一面与多个滚珠法兰相连，另一面用于支撑半导体设备；滚珠放入滚珠法兰内部圆槽内，通过螺钉固定在滚珠法兰和支撑平板之间；根据需移动设备重量不同，可增加或减少支撑平板上固定的滚珠数量；

所述的支撑平板一面上有多个圆形槽，用于与滚珠接触；

所述的滚珠法兰四边有四个孔洞，用于固定螺钉，其上有凸起的椭圆槽，椭圆槽内有球形镂空，用于放置滚珠；滚珠法兰椭圆槽顶面镂空圆孔直径小于滚珠直径，以防止滚珠滑落；

所述的滚珠的材料，采用硬度较高不锈钢材料；

使用时：先将滚珠分别放置在滚珠法兰圆槽中，然后将装配好的设备与支持平板上圆槽一一对应，最后通过螺钉固定。将组装好的设备滚轮朝下，放置在需要移动的半导体设备下。此时滚轮可360度自由滑动，以便于半导体设备向多个方向移动；

本实用新型优点：设备结构简单，易于安装，灵活小巧，可承载较重的半导体设备。

附图说明

图1为半导体设备移动支撑装置整体装配示意图；

图2为半导体设备移动支撑装置支撑平板示意图；

图3为半导体设备移动支撑装置滚珠法兰示意图；

1.支撑平板；2.滚珠法兰；3.滚珠。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明，本实用新型较佳实施例为：参见附图1、附图2和附图3。本实用新型所提供的技术方案是：半导体设备移动支撑装置，包括支撑平板1、滚珠法兰2和滚珠3组成。所述的滚珠3与滚珠法兰2相连；所述的支撑平板1与多个滚珠法兰2相连。所述的支撑平板1一面上有多个圆形槽，用于与滚珠2接触，支撑平板1一面与多个滚珠法兰2相连，另一面用于支撑半导体设备；滚珠3放入滚珠法兰2内部圆槽内，通过螺钉固定在滚珠法兰2和支撑平板1之间。根据需移动设备重量不同，可增加或减少支撑平板1上固定的滚珠3数量；

使用时：先将滚珠3分别放置在滚珠法兰2圆槽中，然后将装配好的的设备与支持平板1上圆槽一一对应，最后通过螺钉固定。将组装好的半导体设备一定支撑装置滚轮3朝下，放置在需要移动的半导体设备下。此时滚轮3可360度自由滑动，以便于半导体设备向多个方向移动；

以上所述实例只为本实用新型之较佳实例，并非以此限制本实用新型的实施范围。故凡依本实用新型的形状、原理所做的变化，均应涵盖在本实用新型保护范围内。