[实用新型]防水罩和晶圆处理装置有效
| 申请号： | 201721804707.3 | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN207672153U | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 孙飞;胡平;杨福全 | 申请（专利权）人： | 上海新傲科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 201821 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 防水罩 窥视孔 晶圆 处理腔室 横向水挡 竖直 水挡 倾斜部 漏空 红外测温仪 红外光 晶圆处理装置 处理效率 处置装置 光路位置 透明结构 处理腔 水平部 水滴 光路 种晶 遮盖 垂直 室内 发射 | ||
1.一种防水罩，用于放置于晶圆处理腔室上方，所述晶圆处理腔室顶部具有一窥视孔，所述晶圆处理腔室上方具有一红外测温仪，所述红外测温仪用于向所述晶圆处理腔室内发射红外光，形成一垂直于所述窥视孔的光路，其特征在于，所述防水罩包括：
竖直水挡，所述竖直水挡中部漏空，用于放置于所述窥视孔的四周，使所述窥视孔位于所述竖直水挡的漏空处底部；
横向水挡，所述横向水挡包括倾斜部和水平部，所述横向水挡固定于所述竖直水挡漏空处顶部，当所述防水罩放置于所述晶圆处理腔室上方时，所述横向水挡遮盖所述窥视孔，所述倾斜部与所述光路位置相对应，所述倾斜部为透明结构。
2.根据权利要求1所述的防水罩，其特征在于，所述横向水挡的材料为石英。
3.根据权利要求1所述的防水罩，其特征在于，所述横向水挡包括：一个倾斜部和两个水平部，所述倾斜部衔接两个水平部。
4.根据权利要求1所述的防水罩，其特征在于，所述倾斜部与所述水平部的夹角为120度至150度。
5.根据权利要求1所述的防水罩，其特征在于，所述防水罩为一体成型结构或者所述竖直水挡与横向水挡为分体结构且相互之间固定连接。
6.一种晶圆处理装置，其特征在于，包括：
晶圆处理腔室，所述晶圆处理腔室顶部具有一窥视孔；
红外测温仪，用于向所述晶圆处理腔室内发射红外光，形成一垂直于所述窥视孔的光路；
防水罩，所述防水罩包括竖直水挡和横向水挡，放置于所述晶圆处理腔室上方，所述竖直水挡位于所述窥视孔四周边缘，所述竖直水挡中部漏空，所述窥视孔位于所述竖直水挡的漏空处底部，所述横向水挡固定于所述竖直水挡漏空处顶部，所述横向水挡遮盖所述窥视孔；
所述横向水挡包括倾斜部和水平部，所述倾斜部与所述光路位置相对应，所述倾斜部为透明结构。
7.根据权利要求6所述的晶圆处理装置，其特征在于，还包括：基座，位于所述窥视孔下方，用于放置晶圆。
8.根据权利要求6所述的晶圆处理装置，其特征在于，所述横向水挡的材料为石英。
9.根据权利要求6所述的晶圆处理装置，其特征在于，所述横向水挡包括：一个倾斜部和两个水平部，所述倾斜部衔接两个水平部。
10.根据权利要求6所述的晶圆处理装置，其特征在于，所述倾斜部与所述水平部的夹角为120度至150度。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海新傲科技股份有限公司，未经上海新傲科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201721804707.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
