[实用新型]一种新型的晶片抛光机修整环装置有效
| 申请号： | 201721774521.8 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN207841071U | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 张韬杰;杭伟;刘敏;曹霖霖;吕冰海;邓乾发;黄晟 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | B24B53/12 | 分类号： | B24B53/12 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 310014 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 修整器 晶片抛光机 驱动电机 修整环 滑槽 滑块 内圈 本实用新型 内齿轮形 抛光盘 输出轴 限位架 支撑板 基盘 联动 修正 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型的晶片抛光机修整环装置，其特征在于：包括修整器、传动机构和驱动电机，所述修整器放在旋转基盘上，修整器上部分的两端有滑槽，所述滑槽接有滑块，所述滑块安装于限位架，所述修整器内圈上部分为内齿轮形；所述驱动电机安装于支撑板上，所述驱动电机的输出轴通过传动机构与所述修整器内圈联动。
2.如权利要求1所述的一种新型的晶片抛光机修整环装置，其特征在于：所述传动机构包括主动带轮、传送带和被动带轮，所述驱动电机为步进电机，所述步进电机的输出轴上安装主动带轮，传送带连接在所述主动带轮和被动带轮上，所述被动带轮与齿轮同轴设置，所述齿轮与所述修整器内圈啮合。
3.如权利要求1或2所述的一种新型的晶片抛光机修整环装置，其特征在于：所述修整器中，在内圈和外圈之间安装有滚子，内圈的下半部分和外圈底部安装有球。
4.如权利要求2所述的一种新型的晶片抛光机修整环装置，其特征在于：所述传送带为同步带。
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