[实用新型]一种竖直移动式InSb晶片退火装置

权利要求书

1.一种竖直移动式InSb晶片退火装置，其特征在于，包括：

加热炉，沿竖直方向依次包括预热区、退火区及保温区三个温区，所述加热炉具有贯通所述三个温区的炉腔；

石英管，插设在所述加热炉的炉腔中且二者能够沿竖直方向相对移动，所述石英管具有内腔；

石英舟，用于承载多个自下至上叠放的InSb晶片，所述石英舟设于所述石英管的内腔中；

该退火装置具有第一工作状态和第二工作状态，在所述第一工作状态时，所述石英管内的石英舟位于所述预热区之内并具有靠近所述退火区的趋势；在所述第二工作状态时，加热炉将向上移动，使所述石英管内的石英舟逐渐进入所述退火区，最后进入保温区。

2.根据权利要求1所述的竖直移动式InSb晶片退火装置，其特征在于，所述加热炉可沿竖直方向移动地设置，所述预热区、退火区及保温区自上至下依次排列。

3.根据权利要求2所述的竖直移动式InSb晶片退火装置，其特征在于，还包括用于驱动所述加热炉上移的驱动装置。

4.根据权利要求1所述的竖直移动式InSb晶片退火装置，其特征在于，所述石英管的内腔底端还设有Sb源，所述石英舟设于所述石英舟的下部并位于所述Sb源的上方。

5.根据权利要求1所述的竖直移动式InSb晶片退火装置，其特征在于，还包括设于所述石英舟底部的测温电偶。

6.根据权利要求5所述的竖直移动式InSb晶片退火装置，其特征在于，还包括：

驱动装置，用于驱动所述加热炉上移；

控制器，和所述测温电偶以及所述驱动装置电连，用于获取所述测温电偶检测的内腔温度数据，并根据获取到的内腔温度数据向所述驱动装置发出调节速率或停止移动的控制信号。

7.根据权利要求1所述的竖直移动式InSb晶片退火装置，其特征在于，所述加热炉为电加热炉，所述退火装置还包括：

电源，用于向所述加热炉供电。

8.根据权利要求1所述的竖直移动式InSb晶片退火装置，其特征在于，所述内腔中充有氩气。

9.根据权利要求1或8所述的竖直移动式InSb晶片退火装置，其特征在于，所述石英管上设有与所述内腔相通的用于抽真空后向内充氩气的换气口。

10.根据权利要求1所述的竖直移动式InSb晶片退火装置，其特征在于，所述石英舟的上部还设有位于InSb晶片上的石英盖。