[实用新型]一种蒸镀金属用双层陶瓷坩埚

说明书

本实用新型提供一种蒸镀金属用双层陶瓷坩埚，包括热解氮化硼陶瓷坩埚，在所述热解氮化硼陶瓷坩埚外嵌套有氮化铝陶瓷坩埚。在所述热解氮化硼陶瓷坩埚与氮化铝陶瓷坩埚之间留有间隙空间。所述热解氮化硼陶瓷坩埚与所述氮化铝陶瓷坩埚均设置为圆柱体形状。本实用新型提供的蒸镀金属用双层陶瓷坩埚通过在热解氮化硼陶瓷坩埚外嵌套氮化铝陶瓷坩埚，既保留了热解氮化硼PBN坩埚良好的热导性、抗热震性和耐高温特性，又保证了嵌套有外层氮化铝陶瓷坩埚的双层嵌套陶瓷坩埚具有足够的强度和硬度，取放坩埚撞击时不易破裂；并防止长时高温使用中不会发生浸润泄露和破裂漏液而导致蒸发源损坏。此外，双层嵌套陶瓷坩埚的结构设置延长了坩埚的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及有机电致发光器件技术领域，尤其涉及AMOLED器件生产中金属阴极层蒸镀用坩埚的结构。

背景技术

近年来，随着智能显示市场对高质量、高可靠性以及大信息量显示器件的需求日益增加，OLED(Organic Light-emitting Display)有机电致显示技术已成为最有前景的新一代屏幕显示技术之一。OLED器件结构由金属阳极层、有机功能层(空穴注入与传输层、电子注入与传输层和发光层)以及金属阴极层构成。金属阴极层一般采用功函数低、透光性好和导电性较好的稳定金属(例如：Mg/Ag，比例为1:5左右)。其中，Ag的蒸发温度较高(接近1300℃)，要求蒸镀坩埚具有金属间浸润性差、热导性好、热膨胀系数低、抗热震性好和耐高温等特性。Ag蒸镀用坩埚一般采用PBN陶瓷材料，其缺点是PBN陶瓷坩埚耐用性一般，长时间高温使用后，寿命下降，需定期更换；寿命下降后，坩埚浸润泄漏问题增加，导致蒸发源容易受损，生产成本和管控风险因此增加；PBN坩埚室温强度和硬度较小，坩埚取放时(添加材料)容易磕碰出现裂纹，导致Ag熔融时漏出而损毁蒸发源。蒸发源一旦出现损毁问题会使蒸镀腔体停机维修，影响生产节拍。因此，需研发一种提高坩埚耐室温、耐高温强度和硬度，延长坩埚使用寿命的蒸镀金属用坩埚结构。

实用新型内容

本实用新型提供一种蒸镀金属用双层陶瓷坩埚，解决了将热解氮化硼PBN陶瓷坩埚的良好的热导性、抗热震性和耐高温特性与氮化铝(Aluminium Nitride，AlN)陶瓷的耐室温、耐高温强度和硬度大、与金属润湿性差的特性结合，从而防止坩埚长时高温使用中不会发生浸润泄露和破裂漏液，延长坩埚的使用寿命的技术问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案为：

本实用新型提供一种蒸镀金属用双层陶瓷坩埚，包括热解氮化硼陶瓷坩埚，在所述热解氮化硼陶瓷坩埚外嵌套有氮化铝陶瓷坩埚。

进一步地，在所述热解氮化硼陶瓷坩埚与氮化铝陶瓷坩埚之间留有间隙空间。

进一步地，所述热解氮化硼陶瓷坩埚与所述氮化铝陶瓷坩埚均设置为圆柱体形状。

更进一步地，所述氮化铝陶瓷坩埚的内径大于所述热解氮化硼陶瓷坩埚的外径。

更进一步地，所述热解氮化硼坩埚的顶端设置为圆环状结构。

本实用新型提供的蒸镀金属用双层陶瓷坩埚通过在热解氮化硼陶瓷坩埚外嵌套氮化铝陶瓷坩埚，既保留了热解氮化硼PBN坩埚良好的热导性、抗热震性和耐高温特性，又保证了嵌套有外层氮化铝陶瓷坩埚的双层嵌套陶瓷坩埚具有足够的强度和硬度，取放坩埚撞击时不易破裂；并防止长时高温使用中不会发生浸润泄露和破裂漏液而导致蒸发源损坏。此外，双层嵌套陶瓷坩埚的结构设置延长了坩埚的使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型蒸镀金属用双层陶瓷坩埚的主视图；

图2是本实用新型蒸镀金属用双层陶瓷坩埚的剖视图。

具体实施方式

下面结合附图具体阐明本实用新型的实施方式，附图仅供参考和说明使用，不构成对本实用新型专利保护范围的限制。