[实用新型]一种化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种化学气相沉积装置，其特征在于，包括：气体分配盒和腔室本体，所述腔室本体具有至少两个螺纹孔，所述气体分配盒上设置有与所述螺纹孔相匹配的通孔，所述化学气相沉积装置还包括至少两个定位销，所述定位销通过所述螺纹孔与所述腔室本体可拆卸连接，所述定位销部分设置在所述气体分配盒上的通孔内，所述定位销设置在所述通孔内的部分的最大外径与所述通孔的最小孔径相等。

2.如权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述定位销至少有部分穿过所述气体分配盒上的通孔。

3.如权利要求1或者2任一项所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述定位销具有一拆卸部，所述拆卸部用于将所述定位销从所述腔室本体上拆卸下来。

4.如权利要求3所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述拆卸部为内六角孔，所述定位销远离所述腔室本体和气体分配盒的一端为顶端，所述内六角孔开设在所述定位销的顶端的中心处。

5.如权利要求3所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述定位销包括第一圆柱段和第二圆柱段，所述第一圆柱段与所述第二圆柱段固定连接，所述第一圆柱段远离所述第二圆柱段的一端与所述腔室本体固定连接，所述第二圆柱段部分设置在所述气体分配盒的通孔内。

6.如权利要求5所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述定位销还包括圆锥段，所述圆锥段的大端与所述第二圆柱段远离所述第一圆柱段的一端固定连接。

7.如权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述螺纹孔的数量为六个，且六个所述螺纹孔均匀分布。

8.如权利要求7所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述定位销的数量为两个。

9.如权利要求8所述的化学气相沉积装置，其特征在于，两个所述定位销关于六个所述螺纹孔的中心中心对称。

10.如权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述定位销的材质为不锈钢。