[实用新型]一种炉管机台

说明书

本实用新型提供了一种炉管机台，包括上半部的炉管加热器和下半部的反应腔；所述炉管加热器内设置有带圆形顶部的柱形腔；所述柱形腔的外侧面设置有烟雾感应器，所述烟雾感应器与报警器连接。本实用新型的炉管机台通过在炉管加热器外侧面设置烟雾感应器，能检测到炉管加热器区域的温度变化和烟尘量变化，在炉管机台出现温度异常或烟雾异常时能马上感应到，并向可编程逻辑控制器PLC发送信号，PLC将信号发送给报警器报警，使工作人员第一时间察觉到异常，减少设备损失。

技术领域

本实用新型涉及一种半导体设备，尤其涉及一种炉管机台。

背景技术

从目前的机台设计来看，在炉管加热器部分是没有温度感应装置的，如果炉管加热器内发生燃烧是无法被机台自身检测到，很容易造成机台的损坏和财产的损失。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的缺陷，提供一种能检测到炉管加热器温度异常的炉管机台。

本实用新型为解决上述技术问题采用以下技术方案：

一种炉管机台，包括上半部的炉管加热器和下半部的反应腔；所述炉管加热器内设置有带圆形顶部的柱形腔；所述柱形腔的外侧面设置有烟雾感应器，所述烟雾感应器与报警器连接。

为了进一步优化上述技术方案，本实用新型所采取的技术措施为：

优选的，还包括可编程逻辑控制器，所述可编程逻辑控制器分别与烟雾感应器和报警器连接。

优选的，所述炉管加热器为石英加热管。

更优选的，所述反应腔底部侧面设置有进气口。

更优选的，所述进气口设置有特气阀。

更优选的，所述特气阀为波纹管式特气阀。

更优选的，所述特气阀为膜片式特气阀。

更优选的，所述特气阀为金属膜片式特气阀。

优选的，所述可编程逻辑控制器和报警器均设置在炉管机台外部。

优选的，所述反应腔内设置有石英舟。

本实用新型采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：

本实用新型的炉管机台通过在炉管加热器外侧面设置烟雾感应器，能检测到炉管加热器区域的温度变化和烟尘量变化，在炉管机台出现温度异常或烟雾异常时能马上感应到，并向可编程逻辑控制器(PLC，Programmable Logic Controller)发送信号，PLC将信号发送给报警器报警，使工作人员第一时间察觉到异常，减少设备损失。

附图说明

图1为本实用新型的一种优选实施例的炉管机台的结构示意图；

图2为本实用新型的一种优选实施例的炉管机台的结构示意图；

其中的附图标记为：

1炉管加热器；2加热腔；3报警器；4可编程逻辑控制器；5石英舟；11柱形腔；12烟雾感应器；21进气口；22特气阀。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的技术方案做进一步的详细说明。

如图1所示，本实用新型的炉管机台，包括上半部的炉管加热器1和下半部的反应腔2；所述炉管加热器1内设置有带圆形顶部的柱形腔11；所述柱形腔11的外侧面设置有烟雾感应器12，所述烟雾感应器12与报警器3连接。

进一步的，在一种较佳的实施例中，还包括可编程逻辑控制器4，所述可编程逻辑控制器4分别与烟雾感应器12和报警器3连接。