[实用新型]适于酸碱环境使用的防误检感应器及制绒槽取放机械臂

权利要求书

1.一种适于酸碱环境使用的防误检感应器，包括感应装置（100），其特征在于，还包括防误检装置，所述防误检装置避开所述感应装置（100）的感应方向一侧安装，包括吹气机构和压缩气源，所述吹气机构包括壳体（210），所述壳体（210）围成气腔（221）并设有连通所述气腔（221）至所述压缩气源的进气口（222）和连通所述气腔（221）至外界的吹气口（223），所述吹气口（223）设置为环形并环绕于所述感应装置（100）的外周以使所述吹气口（223）吹出的气流形成筒形的空气墙，所述吹气口（223）的吹气方向和所述感应装置（100）的感应方位均朝向被感应对象。

2.根据权利要求1所述的防误检感应器，其特征在于，所述吹气口（223）吹出的气流交汇形成锥筒形的空气墙。

3.根据权利要求1所述的防误检感应器，其特征在于，所述感应装置（100）为非接触式传感器。

4.根据权利要求1所述的防误检感应器，其特征在于，所述壳体（210）包括径向尺寸依次增大的第一筒体（211）、第二筒体（212）以及第三筒体(213)，所述第一筒体（211）具有端口A和端口B，所述第二筒体（212）具有端口C和端口D，所述第三筒体（213）具有端口E和端口F，所述第一筒体（211）的A端与所述第二筒体（212）的C端之间通过第一环形端板（214）密封连接，所述第一筒体（211）的B端与所述第二筒体（212）的D端相对所述第一环形端板（214）沿相背方向延伸，所述第一筒体（211）的B端与所述第三筒体（213）的E端之间通过第二环形端板（215）密封连接，所述第一筒体（211）的A端与所述第三筒体（213）的F端相对所述第二环形端板（215）沿相同方向延伸，所述第二筒体（212）的D端与所述第三筒体（213）的F端之间形成所述吹气口（223），所述第三筒体（213）设置所述进气口（222），所述第一筒体（211）的内壁固定于所述感应装置（100）的外壁。

5.根据权利要求4所述的防误检感应器，其特征在于，所述壳体（210）还包括第一锥筒体（216）和第二锥筒体（217），所述第一锥筒体（216）的大端连接所述第二筒体（212）的D端，所述第一锥筒体（216）的小端与所述第二筒体（212）的C端相对二者的连接处沿相背方向延伸，所述第二锥筒体（217）的大端连接所述第三筒体（213）的F端，所述第二锥筒体（217）的小端与所述第三筒体（213）的E端相对二者的连接处沿相背方向延伸，所述第一锥筒体（216）的小端与所述第二锥筒体（217）的小端形成所述吹气口。

6.一种制绒槽取放机械臂，其特征在于，其设置有如权利要求1至5任一所述的防误检感应器，所述防误检感应器用于感应硅片花篮。

7.根据权利要求6所述的取放机械臂，其特征在于，所述感应装置（100）为接近开关。