[实用新型]一种提高晶圆受热均匀性的均热装置

权利要求书

1.一种提高晶圆受热均匀性的均热装置，包括第一灯管组、第二灯管组、设置在所述第一灯管组和所述第二灯管组之间的晶圆和若干第一支架，所述第一支架穿过所述第二灯管组，所述晶圆放置在所述第一支架上，所述第一灯管组与所述晶圆之间的距离和所述第二灯管组与所述晶圆之间的距离相等，其特征在于，所述晶圆的外围还设有间隔一定距离的均热环，所述均热环放置在若干第二支架上，所述第二支架也穿过所述第二灯管组，所述均热环与所述晶圆在同一水平面上。

2.根据权利要求1所述的一种提高晶圆受热均匀性的均热装置，其特征在于，所述第一灯管组包括若干平行的第一灯管，所述第二灯管组包括若干平行的第二灯管，所述第一灯管和所述第二灯管相互垂直。

3.根据权利要求1所述的一种提高晶圆受热均匀性的均热装置，其特征在于，所述第一支架的数量为3个，所述第一支架在所述晶圆下面均匀分布。

4.根据权利要求1所述的一种提高晶圆受热均匀性的均热装置，其特征在于，所述第二支架的数量为3个，所述第二支架在所述均热环的下面均匀分布。

5.根据权利要求1所述的一种提高晶圆受热均匀性的均热装置，其特征在于，所述均热环和所述晶圆的径向间隔距离为2mm。

6.根据权利要求1所述的一种提高晶圆受热均匀性的均热装置，其特征在于，所述第一支架和所述第二支架的直径为2-3mm。

7.根据权利要求1所述的一种提高晶圆受热均匀性的均热装置，其特征在于，所述均热环的材质为碳化硅。

8.根据权利要求1所述的一种提高晶圆受热均匀性的均热装置，其特征在于，所述第一支架和所述第二支架的材质为石英。