[实用新型]一种新型CZ直拉法单晶硅棒切断夹具平台装置

权利要求书

1.一种新型CZ直拉法单晶硅棒切断夹具平台装置，包括有工作台，其特征在于：所述工作台上铺设有间隔设置的导槽，所述导槽中分别导向配合有两组夹具定位块，所述夹具定位块上分别设有用于放置单晶硅棒的U形卡槽，所述夹具定位块上安装有与U形卡槽配合的卡环，所述工作台一侧的两端部分别安装有激光水平装置，所述工作台上另一侧的两端部分别安装有水平调整螺丝。

2.根据权利要求1所述的新型CZ直拉法单晶硅棒切断夹具平台装置，其特征在于：所述的导槽的截面为T形，其与夹具定位块导向配合，所述导槽一侧的工作台上设置有夹具定位孔，所述夹具定位块上设有与夹具定位孔配合的长条形固定槽。

3.根据权利要求1所述的新型CZ直拉法单晶硅棒切断夹具平台装置，其特征在于：所述的卡环的两端分别通过螺丝固定在U形卡槽两侧的夹具定位块上。

4.根据权利要求1所述的新型CZ直拉法单晶硅棒切断夹具平台装置，其特征在于：所述的激光水平装置包括有通过支架机构架设安装有可移动的激光水平尺，所述支架机构包括有位于工作台外侧一端部的圆柱直杆以及另一端部的丝杠，所述圆柱直杆上安装有沿工作台长度方向设置的直线滑轨，所述直线滑轨上安装有与可移动滑动的激光水平尺，所述丝杠转动安装在工作台外侧的固定座上，所述丝杠上配合安装有滑套，所述滑套上设有沿工作台宽度方向设置的固定杆，所述固定杆上安装有激光水平尺，所述丝杠由其底端的涡轮装置驱动。