[实用新型]太阳能电池片防衰减表面处理装置有效
| 申请号： | 201721001261.0 | 申请日： | 2017-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN206961805U | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | 沈晓 | 申请（专利权）人： | 江苏格林保尔光伏有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 | 代理人： | 王美华 |
| 地址： | 213161 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 衰减 表面 处理 装置 | ||
1.一种太阳能电池片防衰减表面处理装置，具有箱体，其特征是：所述的箱体从下至上包括密封连接的进气室(1)、反应室(2)以及排气室(3)，待处理的电池片放置于反应室(2)内，进气室(1)与反应室(2)之间、反应室(2)与排气室(3)之间均设有布满气孔的分布板(4)，进气室(1)内安装有风机(5)，风机(5)的出风管上通过气管(6)连接有臭氧发生器(7)，排气室(3)内设有大端朝向反应室(2)的锥形风罩(8)，锥形风罩(8)上端连接有排气管(9)，排气室(3)侧板上安装有电气控制柜(10)。
2.如权利要求1所述的太阳能电池片防衰减表面处理装置，其特征是：所述的风机(5)出风管上端设有大端朝向反应室(2)的倒锥形的扩散罩(11)，扩散罩(11)小端连接风机(5)出风管，扩散罩(11)小端口内设有连通风机(5)出风管的聚气管(12)，聚气管(12)上端设有布有小孔的小分布板(13)。
3.如权利要求2所述的太阳能电池片防衰减表面处理装置，其特征是：所述的气管(6)上安装有控制臭氧通入进气室(1)的第一气动蝶阀(14)，气管(6)旁路连接有作业停止时控制臭氧旁路排出的第二气动蝶阀(15)，排气管(9)出口端设有第三驱动蝶阀(16)。
4.如权利要求1所述的太阳能电池片防衰减表面处理装置，其特征是：所述的排气管(9)与风机(5)进气口之间并连有回气管(17)，回气管(17)中间设有控制臭氧循环的第四气动蝶阀(18)，回气管(17)旁路连接有补充外界空气的补气管(19)，补气管(19)上安装有第五气动蝶阀(20)。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
