[实用新型]一种集成有盖板抓取机构的搬运机构

说明书

本实用新型公开了一种集成有盖板抓取机构的搬运机构，搬运机构的特征在于：所述搬运机构中设置有目标物体抓取机构和盖板抓取机构，所述盖板抓取机构用于在搬运机构搬运目标物体的时候，将所述目标物体上的盖板抓离所述目标物体。相比于单独设置取放盖板的装置，这种将取放盖板的机构集成到搬运机构的设置方式简化、紧凑了整体设备，节省空间，盖板可以循环利用，且能够减少取、放盖板的时间，提高整体工作效率。

技术领域

本实用新型涉及一种集成有盖板抓取机构的搬运机构，属于自动化设备领域。

背景技术

在自动化设备领域中，对于所需搬运的物体上方有盖的情形，通常在设备中设置一个盖抓取机构，利用盖抓取机构将盖取走，利用搬运机构将需要搬运的物体搬运至目标位置，这使得整体设备占空大、复杂。

具体的，如，在给ALD反应腔室上下料的机构中，搬运机构需要将从反应腔室内镀膜完毕的硅片搬运至目标位置，并将将要进行镀膜的硅片搬运至反应腔室，而硅片在反应腔室镀膜时，硅片载具的上方需要设置盖板，那么在搬运过程中，需要将盖从镀膜完毕的硅片载具上取下（硅片之后要进行的工序不允许硅片载具上方有盖板），如果单独设置一个取盖机构，这一取盖机构的增加会使整体设备复杂化，且其本身占据一定的空间、盖的放置位置也会占据一定空间。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术中存在的不足，提供一种集成有盖板抓取机构的搬运机构，该机构相比于独立设置盖抓取机构的情形整体结构紧凑、占据空间小。在搬运机构对目标物体（硅片载具）搬运的同时，利用集成在搬运机构上的盖板抓取机构将盖板抓取，使之从硅片载具上分离，搬运机构将硅片载具搬运至目标位置后，在搬运载有将要镀膜的硅片的硅片载具时，可以将盖板盖在硅片载具上，这样，盖板实现了循环利用，同时，取放盖时间紧凑、生产节奏快。

本实用新型的集成有盖板抓取机构的搬运机构中设置有目标物体抓取机构和盖板抓取机构，所述盖板抓取机构用于在搬运机构搬运目标物体的时候，将所述目标物体上的盖板抓离所述目标物体。

进一步的，所述搬运机构中设置有移动机构，所述移动机构通过一连接板带动所述盖板抓取机构和所述目标物体抓取机构在各工作位置之间移动；所述盖板抓取机构和所述目标物体抓取机构均设置在所述连接板上，所述目标物体抓取机构的抓取臂长与盖板抓取机构的抓取臂长之差大于目标物体抓取位置和盖板抓取位置的距离。

进一步的，所述的盖板抓取机构包括两个抓手和两个抓手驱动装置，所述两个抓手结构相同，前后对称设置，分别用于抓取盖板的前后侧，所述两个抓手驱动装置分别驱动所述两个抓手在前后方向上运动。

进一步的，所述抓手包括上平板、下平板和连接所述上、下平板的抓手臂，所述上平板的下侧沿前后方向滑动设置在所述连接板上，所述抓手驱动装置固定在所述连接板的下侧，且其输出端连接所述抓手臂。

进一步的，在所述抓手上设置盖板抓取检测机构，用于检测盖板是否被抓起，和/或，在所述目标物体抓取机构中设置目标物体抓取检测机构，用于检测目标物体是否被抓起。

进一步的，所述目标物体抓取机构与所述盖板抓取机构结构相同。

进一步的，所述移动机构包括纵向运动机构和竖直运动机构，所述纵向运动机构主要包括纵向驱动装置、传动轴、带轮、皮带；所述纵向驱动装置的动力经减速分动后分别带动位于纵向驱动装置左右侧传动轴，所述传动轴在远离纵向驱动装置端安装有带轮，带轮与一位于所述带轮后端的惰轮上绕设所述皮带；与所述皮带固定连接的一支撑板上设置有竖直运动机构，所述竖直运动机构主要包括竖直驱动装置、丝杠、螺母；所述竖直驱动装置固定在所述支撑板的上端，其输出端连接竖直转动设置在所述支撑板上的丝杠，螺纹配合在所述丝杠上的螺母与所述连接板固定连接。