[实用新型]一种晶闸管的铝蒸发装置有效
| 申请号： | 201720952774.3 | 申请日： | 2017-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN207405225U | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 高建峰 | 申请（专利权）人： | 杭州西风半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/14 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏;王金兰 |
| 地址： | 311100 浙江省杭州市余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 腔体 坩埚 本实用新型 蒸发装置 晶闸管 放置空间 两侧设置 能量损耗 腔体结构 蒸发效率 出水口 进水口 中空的 凹陷 侧壁 密封 体内 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶闸管的铝蒸发装置，其特征在于，包括第一坩埚、第二坩埚，所述第一坩埚为中空的腔体结构，所述腔体的底部为密封的结构，所述腔体的相对的侧壁上分别设置有所述第一坩埚的进水口和出水口，所述腔体的顶部向腔体的底部凹陷形成第二坩埚的放置空间。
2.根据权利要求1所述的晶闸管的铝蒸发装置，其特征在于，还包括坩埚支架，所述坩埚支架设置于第一坩埚和第二坩埚之间。
3.根据权利要求1所述的晶闸管的铝蒸发装置，其特征在于，所述第一坩埚的顶部最高平面与第二坩埚的顶面齐平，所述第一坩埚内盛装有冷却水，所述第二坩埚内盛装有铝源。
4.根据权利要求1所述的晶闸管的铝蒸发装置，其特征在于，所述第一坩埚呈“凹”字型。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州西风半导体有限公司，未经杭州西风半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201720952774.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种具有多层装饰膜层的装饰薄膜
- 下一篇：一种密闭式坩埚
- 同类专利
- 专利分类
