[实用新型]湿法清洗物载具预脱水所用提升机构有效
申请号: | 201720947767.4 | 申请日: | 2017-07-31 |
公开(公告)号: | CN207009463U | 公开(公告)日: | 2018-02-13 |
发明(设计)人: | 戴国健 | 申请(专利权)人: | 常州市杰洋精密机械有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 | 代理人: | 郑云 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 湿法 清洗 物载具预 脱水 所用 提升 机构 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种湿法清洗物载具预脱水所用的提升机构。
背景技术
在湿法设备行业,尤其是在太阳能硅片槽式湿法处理设备行业中,为了使硅片快速烘干,目前通行做法是将装有硅片的载具进行预脱水处理,其主要方法为采用提升机构,将装有硅片的载具整体以水平状从液体槽体内缓慢提升,以达到硅片上不存在明显滴状液体的目的。当通过预脱水的硅片进入烘干工序时只需要将湿气烘干即可,不需要对滴状难烘干液体烘干,可大大缩短烘干时间。虽然目前设备采用这种预脱水方式可以将硅片上的滴状液体清除掉,但是装载硅片的载具上的滴状液体,尤其是在载具承载杆底部以及载具侧板底部依然存在大量滴状液体,其结果变成真正需要花费比较多的时间去烘干载具上的液体。随着市场对产能的要求不断提升,目前的烘干时间也不满足要求了,因此通常通过增设烘干工序的数量来解决烘干时间的问题,这就造成了成本上升和能源消耗更大。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是:为了克服现有技术中之不足,本实用新型提供一种实现硅片或清洗物和载具整体预脱水良好效果的湿法清洗物载具预脱水所用提升机构。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种湿法清洗物载具预脱水所用提升机构,具有安装载具的提升架,清洗完毕的清洗物置于载具上,所述的提升架两端分别活动连接有推动提升架升降而实现载具倾斜提升以脱离清洗液面的提升件。
优选地,所述的提升件为铰接在提升架左端的第一提升臂、铰接在提升架右端的第二提升臂。
也可以,所述的提升件为铰接在提升架左端的第一提升臂、连接在提升架右端的牵引绳。
或者,所述的提升件为铰接在提升架左端的第一提升臂、活塞杆端部与提升架右端铰接的气缸。
本实用新型的有益效果是:本实用新型将传统的载具水平提升改为倾斜提升,在提升过程中,使得载具的承载杆和侧板底部的液体可以顺着倾斜的方向脱离水面,不会因载具呈水平状态而无处可走,在脱离水平时被拉断,形成滴状,从而达到硅片或清洗物和载具整体预脱水良好的效果,为后道烘干工序节省了大量的烘干时间。
附图说明
下面结合附图和实施方式对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型提升过程的状态示意图。
图2是本实用新型所述提升件的第一种结构示意图。
图3是本实用新型所述提升件的第二种结构示意图
图4是本实用新型所述提升件的第三种结构示意图
图中:1.提升架 2.载具 3.清洗槽 4.第一提升臂 5.第二提升臂 6.牵引绳 7.顶升气缸 8.旋转关节
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
一种湿法清洗物载具预脱水所用提升机构,具有放置载具2的提升架1,清洗完毕的清洗物置于载具2上,所述的提升架1两端分别活动连接有推动提升架1升降而实现载具2倾斜提升以脱离清洗液面的提升件。
所述的提升件第一种结构为:如图2所示,通过旋转关节8铰接在提升架1左端的第一提升臂4,通过旋转关节8铰接在提升架1右端的第二提升臂5,所述的第一提升臂4和第二提升臂5在升降过程中始终保持竖直状态,提升过程如图1所示,首先,第二提升臂5上升,拉动提升架1右端上升,使提升架1上的载具2处于倾斜状态;然后,第一提升臂4和第二提升臂5同步上升,使放置在提升架1上的载具2以倾斜状态向上提升,脱离清洗槽3内的清洗液面,直至完成脱水过程;最后,第一提升臂4下降带动提升架1及载具2恢复到水平状态。上述第一提升臂4、第二提升臂5的动力均由对应安装在第一提升臂4、第二提升臂5上的牵引机构提供,该牵引机构可选用电机带动丝杆传动提升,或者是电机带动同步带传动提升,也可以是电机卷扬软绳类提升及气缸、电缸直连方式提升。
所述的提升件第二种结构为:如图3所示,所述的提升架1左端采用旋转关节8铰接有第一提升臂4,提升架1右端连接有牵引绳6,其中第一提升臂4保持竖直方向可上下运动,牵引绳6可以在提升架1水平面上任意角度设置牵引方向,提升过程同第一种实施方式。
所述的提升件第三种结构为:如图4所示,所述的提升架1左端采用旋转关节8铰接有第一提升臂4,提升架1右端铰接有顶升气缸7,顶升气缸7活塞杆与提升架1右端铰接,提升过程同第一种实施方式。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的