[实用新型]一种高温氧化炉晶舟

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体工艺设备，尤其涉及一种高温氧化炉晶舟。

背景技术

在半导体制造工艺中需要在晶片的衬底上沉积不同种类的薄膜，而在各种沉积薄膜的方法中，低压化学气相沉积是一种常用的方法，已经被广泛应用到各种薄膜的沉积工艺中。

为提高工艺产品晶片的成膜均匀性，高温氧化炉晶舟上下盖板之间均匀分布有环形片装石英，导致高温氧化炉晶舟整体重量较沉；由于晶舟上缺少合适的搬运用力点，维护人员在进行晶舟拆装时，只能将双手分别置于晶舟上盖板与其下方的环形片状石英之间的加强筋部分进行晶舟搬运，但由于该部分空间较小，经常会出现维护人员因用力不匀触碰到晶舟上盖板下面的环形片状石英部分，导致该石英环因受搬运外力作用而碎裂，从而导致整个晶舟因石英环碎裂而报废。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的缺陷，提供一种既能使晶舟方便搬运而又不影响晶片的成膜均匀性的高温氧化炉晶舟。

本实用新型为解决上述技术问题采用以下技术方案：

一种高温氧化炉晶舟，包括彼此平行设置的上盖板、下盖板和带卡合件的片状环；还包括连接所述上盖板、下盖板和片状环，顶端设可拆卸连接部的连接柱；与所述连接柱通过可拆卸连接部连接的圆弧形手柄。

为了进一步优化上述技术方案，本实用新型所采取的技术措施为：

优选的，所述可拆卸连接部为连接柱连接部和手柄连接部，以及连接所述连接柱连接部和手柄连接部的连接件。

优选的，所述连接柱连接部与手柄连接部设外螺纹；所述连接件为设与所述外螺纹适配的两端带内螺纹孔的圆柱形连接件。

优选的，连接件中间段设六角形着力段。

优选的，所述连接柱连接部设十字型孔或十字型槽。

优选的，所述连接柱连接部为正面中间设水平长方形通孔、背面中间设横向与所述长方形通孔连通，竖向延伸至上下表面的十字型凹槽的长方体状连接柱连接部；所述手柄连接部底端连接与所述长方形通孔大小适配的转动杆。

优选的，还包括横向杆，所述十字型凹槽的横向凹槽与左右两侧面设与所述横向杆适配的连接通孔，并在手柄连接部与所述连接通孔适配位置设手柄通孔；横向杆穿过连接通孔和手柄通孔将手柄连接部和连接柱连接部固定连接。

优选的，还包括横向杆，所述连接柱连接部设十字型通孔，横向通孔与所述横向杆适配，竖向通孔与手柄连接部大小适配，所述手柄连接部与横向杆适配位置设手柄通孔。

优选的，所述横向杆长度比所述连接柱连接部长。

优选的，所述上盖板、下盖板、片状环、手柄、连接柱和可拆卸连接部均为石英材质。

本实用新型采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：

本实用新型通过在晶舟上盖板设置圆弧状石英手柄，作为高温氧化炉晶舟维护时的搬运用力点，可极大地方便高温氧化炉晶舟的安装及拆除，并有效地保护晶舟环形片状石英不受到人力搬运的外力作用。由于带圆弧状石英手柄的晶舟在高温氧化炉内反应时会阻挡气流的流动路径，影响反应时的成膜均匀性，造成靠手柄侧的反应不均匀，本实用新型在将高温氧化炉晶舟放入炉内后，能将手柄拆卸掉，从而不影响晶舟的正常反应；本实用新型的拆卸方式简单方便，耗时短，实用性高。

附图说明

图1为本实用新型的一种优选实施例的高温氧化炉晶舟的立体直立图；

图2为本实用新型的一种优选实施例的高温氧化炉晶舟的立体图；

图3为本实用新型的一种优选实施例的高温氧化炉晶舟的正面结构示意图；

图4为本实用新型的一种优选实施例的高温氧化炉晶舟的侧面结构示意图；

图5为本实用新型的一种优选实施例的可拆卸连接部的结构示意图；

图6为本实用新型的一种优选实施例的可拆卸连接部的结构示意图；

图7为本实用新型的一种优选实施例的可拆卸连接部的连接结构示意图；

图8为本实用新型的一种优选实施例的连接柱连接部和横向杆的结构示意图；

图9为本实用新型的一种优选实施例的连接柱连接部和横向杆的连接结构示意图；

图10为本实用新型的一种优选实施例的手柄连接部的正面结构示意图；

图11为本实用新型的一种优选实施例的手柄连接部的侧面结构示意图；

图12为本实用新型的一种优选实施例的可拆卸连接部的正面结构示意图；

图13为本实用新型的一种优选实施例的可拆卸连接部的侧面结构示意图；