[实用新型]一种单晶炉开式直接冷却系统有效
申请号: | 201720927704.2 | 申请日: | 2017-07-28 |
公开(公告)号: | CN206956210U | 公开(公告)日: | 2018-02-02 |
发明(设计)人: | 崔永祥 | 申请(专利权)人: | 中建凯德电子工程设计有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 成都中亚专利代理有限公司51126 | 代理人: | 陈亚石 |
地址: | 610041 四川省成都市高*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉开式 直接 冷却系统 | ||
1.一种单晶炉开式直接冷却系统,其特征在于:包括循环水泵(1),柴油备用泵(2),冷却塔(3),循环冷却水池(4),循环供水管路(5),和循环水回水管路(6);所述循环冷却水池(4)位于冷却塔(3)下方,并通过管道与循环水泵(1)连接,该循环水泵(1)再通过循供水管路(5)与单晶炉(7)连接;所述单晶炉(7)再通过循环水回水管路(6)与冷却塔(3)连接。
2.根据权利要求1所述一种单晶炉开式直接冷却系统,其特征在于:还包括水质水温水位监测系统,该系统包括安装于水池(4)的水温检测传感器,水位检测传感器和水质传感器。
3.根据权利要求1所述一种单晶炉开式直接冷却系统,其特征在于:所述循环水泵(1)为电动水泵,且该电动泵设置有一台备用泵,该备用泵采用单路电源加上柴油发电机作为备用电源。
4.根据权利要求3所述一种单晶炉开式直接冷却系统,其特征在于:所述循环水泵(1)和备用泵均配备有作为安保作用的柴油水泵(2)。
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